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廢氣工程:由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。
空壓氣體工程:螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成:空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。

各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過凈化處理,簡稱“物凈”。物料凈化路線與人凈路線應(yīng)分開,如果物料與人員只能在同一處進(jìn)入潔凈室,也必須分門而入,物料并先經(jīng)過粗凈化處理。對于生產(chǎn)流水線不強(qiáng)的場合在物料路線中間可設(shè)中間庫。如果生產(chǎn)流水線很強(qiáng),天津廠房凈化車間裝修,則采用直通式物料路線,有時還需要在直通路線中間設(shè)多次凈化、傳遞設(shè)施。在系統(tǒng)設(shè)計上,物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒,所以相對潔凈區(qū)應(yīng)保持負(fù)壓或零壓,天津廠房凈化,如果污染危險性大則對入口方向也要保持負(fù)壓。

無塵凈化工程對車間有明確的要求,天津廠房凈化工程施工,為了滿足需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量,要對車間的環(huán)境、人員、設(shè)備和生產(chǎn)過程等進(jìn)行控制。車間的管理,包括對車間工作人員、物料以及設(shè)備、管線管理。對車間工作人員工作服的制作,車間的清洗。室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、等,防止車間內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生。設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)范,天津廠房凈化車間,保證設(shè)備按要求運(yùn)轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng),水氣電系統(tǒng)等,確保生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級。


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