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磁控反應濺射絕緣體看似容易,而實際操作困難。主要問題是反應不光發(fā)生在零件表面,也發(fā)生在陽極,真空腔體表面,以及靶源表面。從而引起滅火,佛山多弧離子鍍膜機,靶源和工件表面起弧等。德國萊寶發(fā)明的孿生靶源技術,很好的解決了這個問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極,從而陽極表面氧化或氮化。

真空室的冷卻可以采用自然冷卻(或風冷),也可以采用水冷。水冷有兩種形式,一種是將水管螺旋式地焊在真空室外壁,另一種是在真空室外壁加裝水冷套,具體形式如圖 圓鄄員園 所示。熱負荷較小時用水管冷卻,有時也可以采用水管和水冷套兩種結(jié)構(gòu)形式混合使用。熱負荷再小時,可用風冷,有時可不用冷卻,佛山多弧離子鍍膜機價格,甚至需要加保溫層保溫。具體選擇哪種冷卻方式,應依據(jù)設備的具體情況,如設備結(jié)構(gòu)、加熱溫度、工作真空度、觀察方便、修補焊縫容易等而定。

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