磁控濺射鍍膜機價格_佛欣真空_龍巖磁控濺射鍍膜機
磁控濺射鍍膜機廠家
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由上述分析可知，磁控濺射鍍膜機訂做，靶的磁場強度越大，磁場在端部區(qū)域和直道區(qū)域
的差異越大，端部異?？涛g現象越明顯。傳統(tǒng)設計的矩形陰極靶，其端
部磁場強度與中部磁場強度存在著較大的差異，一般情況下，磁控濺射鍍膜機設備，靶的端部
磁場強度僅為中部磁場強度的猿園豫 耀 源園豫，“端部效應”總是產生在中
部直道位置與端部拐角位置的連接處磁場強的部位，也就是電子由弱磁
場向強磁場運動的強磁場一側。有資料介紹，靶端部的濺射刻蝕速率比
靶中間部位的高約員郾 緣 倍。矩形 隕栽韻燒結靶端部拐角處與靶中部溝道深
度比值可以達到員郾 苑緣頤 員，單晶硅靶的比值更高，使本來就不高的靶材利
用率進一步降低。
悅搖 磁場（磁體）的均勻度
如果靶磁場減弱或變化，靶的濺射狀態(tài)將變化，而且將影響等離子
體密度和膜層的均勻度。靶磁體的尺寸誤差應該減少到接近依（園郾 員 耀
園郾 圓）皂皂 。就磁感應強度來說，龍巖磁控濺射鍍膜機，每塊磁體磁場強度的一致性誤差應小于
依（員豫 耀猿豫）。除了磁體排列的性，通過使用鐵磁極片（導磁片）
來擴展磁極和相對磁極，磁控濺射鍍膜機報價，也可以達到減少磁場變化程度的目的。
對于多極磁性系統(tǒng)，由于在系統(tǒng)內磁極的數量與傳統(tǒng)的兩極設計相
比多出兩倍多，因此，單個磁體內的任何變化只占整個磁場系統(tǒng)內的許
多相互作用的磁體的很少部分，所以，對多極磁場結構來說，單個磁體
的誤差對整個靶磁場變化的影響被進一步減弱。
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