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雖然原理較簡單,真空泵,但要達(dá)到工業(yè)級的穩(wěn)定性和可靠性,實現(xiàn)起來卻有很大的難度。比如為了維持穩(wěn)定的真空度,對泵的氣密性等有很高的要求,在特殊的工藝和高科技技術(shù)保證下,微型真空泵的氣密性可以做的比較高,真空泵公司,有個數(shù)據(jù)可供參考: 10^-7PaM^3/S(10的負(fù)7次方帕立方米每秒)。可滿足一些客戶對氣密性要求較高的應(yīng)用:如實驗室稀有氣體的分析、檢驗、循環(huán)等。
相應(yīng)的,真空度每提高一點,對材料、工藝技術(shù)水平的要求都會高出很多,所以成本也大幅增加。
真空泵的類型
氣體輸送泵是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達(dá)到抽氣目的的真空泵。它含有變?nèi)菔胶蛣恿總鬏斒絻纱箢悺?/span>
變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置 。
動量傳輸式真空泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動量傳輸給被抽氣體,使之吸入、壓縮、排氣的一種真空泵。
氣體捕集泵是一種將氣體吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵。
液環(huán)真空泵需要用液體作為工作介質(zhì)。每種液體在某一溫度下都有對應(yīng)的飽和蒸汽壓。當(dāng)吸入?yún)^(qū)域的絕/對壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時,真空泵供應(yīng),液體越接近沸騰狀態(tài)。這時,在吸入?yún)^(qū)域的工作液表面會產(chǎn)生大量的汽泡,由于液體在工作腔內(nèi)產(chǎn)生的工作液蒸汽會占據(jù)部分工作腔的空間,泵對外的吸氣能力會有所下降。當(dāng)吸入?yún)^(qū)域的壓力達(dá)到工作液的飽和蒸汽壓時,可以認(rèn)為工作腔內(nèi)全部充滿了工作液蒸汽,此時泵對外的吸氣能力接近于0,而此時泵的汽蝕現(xiàn)象也最為嚴(yán)重。
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