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顯然增加磁場(chǎng)均勻性能夠增加靶面刻蝕的均勻性,從而延長(zhǎng)靶的壽命、提高靶材的利用率,而且合理的電磁場(chǎng)分布還能夠有效地提高濺射過(guò)程的穩(wěn)定性??梢愿鶕?jù)靶面磁力線(xiàn)分布來(lái)分析靶表面的刻蝕情況,使等離子體存在于更大的靶面范圍,實(shí)現(xiàn)靶面的均勻?yàn)R射。想了解更多離子真空鍍膜機(jī)|金屬表面鍍膜機(jī)|真空鍍膜機(jī)設(shè)備請(qǐng)聯(lián)系佛山市佛欣真空設(shè)備有限公司

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