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濕度控制和相對濕度對無塵車間的意義:濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件,相對濕度是無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。
半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
近年,在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括:
1、菌生長 ; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

一座中型游泳池每天蒸發(fā)出的水量約有1公噸。若不有效移除,將會對建筑結(jié)構(gòu)不利。此外,在池邊活動的人員亦會感覺不舒適。這些都會影響游泳池的收入。相對濕度應(yīng)控制在65%以下。
游泳池是屬于高耗能的場所,運(yùn)轉(zhuǎn)成本相當(dāng)重要。恒溫恒濕機(jī)不僅可成功控制濕度,恒溫恒濕機(jī),且可以比其它系統(tǒng)節(jié)省約50%的運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
室內(nèi)游泳池所用的水都是自來水,恒溫恒濕機(jī)維修,自來水的消毒是用含氯的漂白粉進(jìn)行的,而且為了保證水的清潔度,每天需要對水進(jìn)行消毒處理,這些消毒措施無一不使用含氯的產(chǎn)品。于是當(dāng)室內(nèi)游泳池表面水分蒸發(fā)的話,那么室內(nèi)就會充滿大量的氯氨/三鹵甲烷,對人體具有刺激作用,嚴(yán)重危害人的健康,其中三鹵甲烷可致癌!


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