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羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),無(wú)油螺桿真空泵,所以,在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣,山東干式螺桿真空泵,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,螺桿真空泵,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),螺桿真空泵生產(chǎn)廠家,氣體排出泵外。

活塞真空泵
1602年11月20日,德國(guó)物理學(xué)家、政治家?jiàn)W托·馮·格里克出生在馬德堡家庭,就讀于萊布尼茲和萊頓大學(xué)。他于1650年發(fā)明了活塞式真空泵,并利用這一發(fā)明于1657年設(shè)計(jì)并進(jìn)行了馬德堡半球?qū)嶒?yàn),展示了大氣壓的大小并了之前亞里士多德提出的“自然界厭惡真空”的假說(shuō)。
在各種真空設(shè)備中,凡使用機(jī)械方法不斷改變泵內(nèi)吸氣容腔的容積而獲得真空的泵常稱機(jī)械真空泵。在機(jī)械真空泵中真空油不僅作獲得真空的介質(zhì),而且還在機(jī)械摩擦部件起潤(rùn)滑作用和冷卻作用。
機(jī)械真空泵可分為往復(fù)式(或稱活塞式)真空泵、機(jī)械增壓泵和油封機(jī)械真空泵等。往復(fù)式真空泵常用于真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空濃縮和真空干燥等工藝。這種泵的極限壓強(qiáng)到1.3kPa,抽速為每小時(shí)770立方米。機(jī)械增壓泵在1.3×10-3 kPa真空下有圈套的抽速,雙級(jí)式的極限真空可達(dá)1.4×10-7 kPa。油封機(jī)械真空泵是使用最多的一種,它有單級(jí)、雙級(jí)式,但性能較差,目前有潤(rùn)滑閥式真空泵,用于大型真空設(shè)備的排氣方面,應(yīng)用較廣,單級(jí)泵極限真空可達(dá)1.3×10-4kPa,抽速為1200L/s。滑片式真空泵是所有低真空中使用最廣、生產(chǎn)品種最全的泵,常用于真空冶煉、真空干燥、真空處理、電子器件排氣等,也可以作為高真空的前級(jí)泵,極限真空1.3×10 -4~1.3×10-5kPa。

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