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- 加工定制： 是
- 種類： 陶瓷靶材
- 規(guī)格尺寸： 管靶
- 品牌： UVTM
鑄造法制做鈦鋁合金靶材無法避免疏松和縮孔，大尺寸鈦鋁鑄管和鑄錠不能保證制成旋轉(zhuǎn)管靶時達(dá)到密封和防水效果，并且隨著管壁的刻蝕，壁厚變薄，疏松和縮孔只要有一個孔連通，密封性會變的更加糟糕，輕者滲漏，靶管起輝放電，或大量雜氣摻于反應(yīng)不是掉膜就是起彩顏色不對。嚴(yán)重者直接從疏孔向真空室射水，污染真孔腔和真空機組。粉末冶金工藝制做鈦鋁靶材沒有疏松和縮孔的問題，氧化鎳濺射靶材，但從粉末冶金微觀來看也是多孔材料，所以要想制做鈦鋁旋轉(zhuǎn)管靶，對材料致密性要求很嚴(yán)，密度必需>98%以上。但符合密度要求也不代表可以使用。如果鈦鋁錠的含氧量很高而且微觀結(jié)構(gòu)不合理，鈦鋁錠內(nèi)應(yīng)力大，容易崩，也是不能做旋轉(zhuǎn)管靶的，所以在粉末制做和粒度配比上有很多條件要求。既使?jié)M足這些條件，粉末冶金鈦鋁環(huán)還需綁錠在不銹鋼管或鈦管上，由于鈦鋁熱膨脹系數(shù)很大，在濺射時局部靶材膨脹可能達(dá)到0.5-1MM，鋁合金濺射靶材，所以現(xiàn)在傳統(tǒng)綁錠方式不能有效解決這個問題。出現(xiàn)鈦鋁綁錠分離，靶面熱能無法傳導(dǎo)而爆裂的現(xiàn)象。致于所謂緊配綁錠和等離子噴涂鈦鋁合金靶那都是沒有意義的解決方案，不能使用。低檔鐘表手飾沒有薄膜厚度和光澤度要求。大多采用電弧鈦鋁靶沉積TiAlN。精密表要求厚度達(dá)到1 咪上，且光澤度不能下降。電弧受液滴影響在光潔厚膜方面沒有優(yōu)勢。目前比較好的方式是采用旋轉(zhuǎn)管靶沉積TiAlN，不僅顏色更接近玫瑰金而且厚度增加后光澤度也不受影響。
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