旋片971446880、旋片、Leybold(查看)
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冷陰極電離真空規(guī)（潘寧規(guī)）
冷陰極電離真空規(guī)通過測量氣體離化形成的離子電流來測量壓強，旋片，以離子電流為輸出為信號，旋片71420810， 與壓強成正比。該類型的真空規(guī)借助磁鐵延長電子的運行軌跡提高離化率，保持低壓時的穩(wěn)定測量。
萊寶的冷陰極電離真空規(guī)采用全新的設(shè)計理念，能夠在10-2到1×10-9 mbar/Torr的壓強范圍內(nèi)安全可靠地運行。
熱陰極電離真空規(guī)
熱陰極電離真空規(guī)通常使用三個電極，熱陰極發(fā)射電子到陽極，電子在飛行過程中與被測氣體碰撞使其電離。然后通過測量在收集極產(chǎn)生正離子電流，來測量真空度。
目前使用最多的熱陰極傳感器是BA規(guī)，旋片971446880，可測量的壓強范圍為10-10到10-2 mbar /Torr。
采用其它電極排布方式可獲得較高的壓強范圍，從10-1 mbar /Torr低至10-10mbar/Torr。要測量低于10-10mbar/Torr的壓強時，需要采用Redhead式超高真空分離規(guī)。由于該系統(tǒng)的特殊的幾何布置，幾乎可以完全排除X射線效應(yīng)和離子解吸附之類的干擾影響。超高真空分離規(guī)允許測量的壓強范圍為10-4 mbar /Torr到10-12 mbar/Torr。
當未連接進口管路或進氣口打開時不要運行泵。
當泵有任何蓋子打開時不要運行泵， 會導(dǎo)致嚴重的傷害。
TRIVAC? C包括附件應(yīng)避免運行在超過100的平面上， 為了便于控制請選擇運行場所。
請堅直的水平移動已經(jīng)加滿油的泵，旋片EK6507487， 避免油溢出。
確保排氣管路不被堵塞或有任何不暢。
當必須收集排氣時， 不允許排氣管路過壓。 油箱中的壓力不要超過1.5 ba「。 如果出口管徑太小， 在泵內(nèi)會產(chǎn)生過壓， 可能產(chǎn)生的后果是泵損壞甚至泵突然打開。 因此必須不時地檢查排氣管路確保無阻塞。
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