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潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,灌裝車間,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,灌裝車間,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,灌裝車間空氣凈化,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最jia濕度范圍為35-45%。


潔凈棚是為最快速方便建立的一座簡易潔凈室,其具備多種潔凈等級(jí)及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計(jì)制作,因此潔凈棚便運(yùn)用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點(diǎn),同時(shí)可針對在一般等級(jí)的潔凈室中局部地區(qū)需要高潔凈度的地方做局部增設(shè)以降成本。潔凈棚是一種可提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。潔凈棚主要由方通/鋁型材、PVC防靜電簾、高xiao空氣過濾器、FFU、燈具等組成。
潔凈棚配制:
1、框架:以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架
穩(wěn)固、美觀、不生銹、不產(chǎn)塵;
2、防靜電垂簾:周圍用防靜電垂簾(鋼化玻璃),透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化;
3、風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU;采用新加坡PCI直驅(qū)式離心風(fēng)機(jī),灌裝車間凈化工程,具有長壽命、低噪音、免維護(hù)、震動(dòng)小、可三擋調(diào)速等特性風(fēng)機(jī)質(zhì)量可靠,工作壽命長達(dá)、5萬小時(shí)以上;加上獨(dú)特的風(fēng)道設(shè)計(jì),大大提高了風(fēng)機(jī)的效率、降低了噪音!內(nèi)部凈化級(jí)別可達(dá)100-100k級(jí);
4、潔凈棚特別適用于車間內(nèi)局部凈化級(jí)別要求高的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)域。
5、模塊化結(jié)構(gòu):提高凈化級(jí)別容易,擴(kuò)展性強(qiáng),且重復(fù)利用價(jià)值高。



注冊資金:200萬
聯(lián)系人:李經(jīng)理
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企業(yè)地址:山東 羅莊區(qū)