偉一_十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車間施工_橋頭無(wú)塵凈化車間施工

復(fù)合式無(wú)塵車間：將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)無(wú)塵車間潔凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　(2)無(wú)塵車間潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，橋頭無(wú)塵凈化車間施工，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

百級(jí)凈化工程，從幾平方的局部百級(jí)區(qū)域到幾百平方米的大面積百級(jí)區(qū)域，大多數(shù)存在噪聲達(dá)大，溫度偏高的二大問(wèn)題。這種狀況主要是由客觀環(huán)境、方案選擇、性價(jià)比等因素造成。

噪聲控制

根據(jù)(Gb5073-98) <潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)求意見(jiàn)稿>要求，空態(tài)測(cè)試時(shí)，單向流潔凈室噪聲用較小孔的鍍鋅鋼板作為吸音材料，板厚和孔徑均為0.5~1mm，由于采用了不同的穿孔率1-3%和不同腔數(shù)，故在較寬的聲頻范圍內(nèi)均有良好的效果。做穿孔板消聲器以其阻力小(≤30pa)，工作時(shí)不起塵，消聲性能好而得以廣泛應(yīng)用.

  溫濕度

百級(jí)區(qū)域冷負(fù)荷特點(diǎn):因大量采用二次回風(fēng)(或循環(huán)風(fēng))，故再熱冷負(fù)荷小;但風(fēng)機(jī)與電機(jī)都在送回風(fēng)氣流內(nèi)，因而風(fēng)機(jī)負(fù)荷較大，從而大大增加了系統(tǒng)制冷負(fù)荷.

而百級(jí)區(qū)域熱負(fù)荷則相應(yīng)減小.

溫濕度對(duì)潔凈度也有一定影響.