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PVD制程所用的靶材需要檢驗哪些項目
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年,合金濺射鍍膜靶材多少錢, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,合金濺射鍍膜靶材加工,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。

1.靶材的純度,合金濺射鍍膜靶材,可以用化學分析法、光譜能量測定法等方法檢驗;
2.晶粒度:要求晶粒越細小越好。而且晶粒要盡可能均勻一致??梢杂霉鈱W顯微鏡檢驗;
3.密度:原則上,靶材的密度越高越好。密度越高,晶粒間隙越小,壓制緊密,靶材質量越好。可以用稱量法檢驗;
4.組織均勻性:對于兩種成份以上的合成靶,特別是相互難融的成分,還可以做金相檢驗,看成分、組織是否均勻一致;
5.機械性能:有些靶材,如有色金屬等可以要求一下。石墨靶,好一點的,也有該要求。檢驗用專門的機械性能試驗機。

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金屬靶材
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年,合金濺射鍍膜靶材廠家, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。

濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導磁率、超高密度與超細晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物理相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。

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