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比利時魯汶校際微電子研究中心(Imec)已開發(fā)出一套微電機(jī)像素系統(tǒng)(MEMS)平臺,讓全息影視更加接近現(xiàn)實(shí)。Imec建造的全息顯示器,是用激光照射在一種微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)平臺上,該平臺能上下運(yùn)動,就像一個小的反光鏡活塞。每個像素都附著在一個像彈簧一樣的機(jī)械裝置上,通斷電能拉長或放松。安裝MEMS之前,芯片是在硅晶片上生長一層氧化硅,有序地在氧化硅上蝕掉一些方塊,生成一種像國際象棋棋盤似的花紋。蝕掉的像素僅比附近氧化硅低約150納米,然后在整個芯片最上面涂一層鋁反光層。當(dāng)激光照在芯片上,就會在相鄰像素的邊界以一定角度反射回來。整個芯片上衍射的光互相干涉疊加或抵消,就形成了3D圖像。[5]

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