郵箱:
手機:
擴散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一。它的主要用途是對半導(dǎo)體進行摻雜,即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片,從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布,高溫擴散爐,以便建立起不同的電特性區(qū)域。擴散爐特點: 主機為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架,獨立完成不同的工藝或相同工藝;工藝管路采用進口閥門管件組成氣密性好、耐腐蝕、無污染。


擴散爐的保養(yǎng)與維護
①恒溫區(qū)校準(zhǔn)周期,爐子恒溫區(qū)調(diào)好以后,真空擴散爐,不是頻繁連續(xù)工藝,可兩個月校準(zhǔn)一次,連續(xù)工藝,擴散爐生產(chǎn)廠家,一個月校準(zhǔn)一次。
②爐體保溫在隔以上的工藝之間,深圳擴散爐,爐溫一般為450℃~650℃保溫。
③設(shè)備工作環(huán)境應(yīng)長期保持清潔、干燥、無污染。
④設(shè)備長期不用時,每隔一星期通電運行一次,防止器件受潮失效。更換損壞元器件時,應(yīng)盡量采用規(guī)格、型號相同的器件。溫控儀等關(guān)鍵器件不得采用替代品。



注冊資金:100萬-500萬
聯(lián)系人:程經(jīng)理
固話:0551-65583720
移動手機:18297961217
企業(yè)地址:安徽 合肥市 蜀山區(qū)