寶億科技(圖)、全自動(dòng)圓盤(pán)拋光機(jī)、圓盤(pán)拋光機(jī)

設(shè)計(jì)初衷是實(shí)現(xiàn)效，

機(jī)械要想實(shí)現(xiàn)效拋光，

關(guān)鍵是要設(shè)法得到大的拋光速

率，

以便盡快除去毛坯工件表面粗糙不平的氧化物和毛刺，

同時(shí)也要使拋光損傷

層不會(huì)影響終觀察到的組織，

即不會(huì)造成假組織。

要快速除去毛坯工件表面粗

糙不平的氧化物和毛刺就要求使用較粗的磨料進(jìn)行粗拋，

但粗拋后工件表面的損

傷層也較深；

要得到平整光亮的表面還要使用細(xì)的材料進(jìn)行精拋，

使拋光損傷

層較淺，

但精拋光速率低。

解決這個(gè)矛盾的好的辦法就是把拋光分為三個(gè)階段

進(jìn)行。

粗拋目的是去除磨光損傷層，

這一階段應(yīng)具有大的拋光速率，

粗拋形成

的表層損傷是次要的考慮，

不過(guò)也應(yīng)當(dāng)盡可能??；

其次是中拋，

其目的是初步去

除粗拋產(chǎn)生的表層損傷，

因?yàn)榫珤伖馑俾实停?/p>

只用一道精拋耗時(shí)長(zhǎng)，

時(shí)間上與粗

拋無(wú)法協(xié)調(diào)，

因此加上中拋這一到環(huán)節(jié)；

后是精拋，

經(jīng)過(guò)中拋出來(lái)的工件表面

已經(jīng)比較平整光亮，平面圓盤(pán)拋光機(jī)異型管，再經(jīng)過(guò)精拋這一道工續(xù)就可以得到十分平整光亮的表面了。

超精密拋光技術(shù)作為制造業(yè)發(fā)展的標(biāo)志之一，已深入到了航空航天、軍事、集成電路、民用設(shè)備等諸多領(lǐng)域。但目前國(guó)內(nèi)發(fā)展水平仍處于較低階段，對(duì)拋光原理了解不夠深入，鏡面拋光圓盤(pán)拋光機(jī)，加工過(guò)程也過(guò)多的依賴經(jīng)驗(yàn)，效率低下。本文受“制造技術(shù)與裝備”浙江省重中之重學(xué)科項(xiàng)目資助，運(yùn)用虛擬樣機(jī)這一近年來(lái)得到迅速發(fā)展和廣泛運(yùn)用的制造技術(shù)對(duì)超精密雙面拋光機(jī)的機(jī)械去除作用進(jìn)行了深入分析。重點(diǎn)研究了拋光工藝參數(shù)、加工工件的運(yùn)動(dòng)特性以及拋光結(jié)果三者間的關(guān)系。主要研究?jī)?nèi)容如下： (1)針對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光的影響因素，和雙面拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)功能特點(diǎn)，在理論分析的基礎(chǔ)上，采用三維實(shí)體建模軟件SolidWorks與動(dòng)力學(xué)分析軟件ADAMS聯(lián)合建模，定義了拋光機(jī)構(gòu)的虛擬樣機(jī)。(2)通過(guò)對(duì)建構(gòu)模型的定性分析與定量驗(yàn)證，確保了虛擬樣機(jī)的正確性，并進(jìn)一步完善模型，提高其準(zhǔn)確性。在此基礎(chǔ)上，通過(guò)對(duì)加工工件的運(yùn)動(dòng)原理，研究了拋光機(jī)構(gòu)輸入?yún)?shù)與工件運(yùn)動(dòng)狀態(tài)間的關(guān)系，圓盤(pán)拋光機(jī)，以及工件表面上各點(diǎn)間的運(yùn)動(dòng)關(guān)系，全自動(dòng)圓盤(pán)拋光機(jī)，為進(jìn)一步研究工件運(yùn)動(dòng)特性對(duì)拋光結(jié)果的影響奠定了基礎(chǔ)。 (3)提出了以拋光去除率的Preston方程與工件運(yùn)動(dòng)軌跡作為評(píng)價(jià)拋光效率和均勻性的指標(biāo)。分別就施加載荷、拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速、行星輪輸入轉(zhuǎn)速等拋光工藝參數(shù)對(duì)兩者的影響進(jìn)行了深入分析，明確了參數(shù)取值與拋光結(jié)果間的聯(lián)系。并通過(guò)優(yōu)化學(xué)習(xí)，得到了取得較佳拋光結(jié)果的各個(gè)工藝參數(shù)的取值，指導(dǎo)實(shí)際拋光加工的進(jìn)行。 本文采用的分析方法和得出的結(jié)論，不僅對(duì)雙面拋光機(jī)的工藝參數(shù)的合理設(shè)置具有一定的實(shí)用價(jià)值，而且也為今后的研究工作提供了一定的理論依據(jù)。