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使用石英晶體振動(dòng)頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的??墒鞘⒈O(jiān)控有一個(gè)欠好的地方即是當(dāng)膜厚添加到必定厚度后,振動(dòng)頻率不全然因?yàn)槭⒆陨淼奶匦允购穸扰c頻率之間有線性關(guān)系,此刻有必要使用新的石英振動(dòng)片。

極值監(jiān)控法:當(dāng)膜厚度添加的時(shí)候其反射率和穿透率會(huì)跟著起改變,當(dāng)反射率或穿透率走到極值點(diǎn)的時(shí)候,模具鍍膜,就能夠知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(zhǎng)(入)的四分之一的整倍數(shù)。







真空電鍍是真空鍍膜工藝的一項(xiàng)新發(fā)展。真空電鍍當(dāng)高溫蒸發(fā)源通電加熱后,真空電鍍促使待鍍材料—蒸發(fā)料熔化蒸發(fā)。真空電鍍蒸發(fā)料粒子獲得一定動(dòng)能,真空電鍍則沿著視線方向徐徐上升,最后真空電鍍附著于工件外表上堆積成膜。真空電鍍用這種工藝形成的鍍層,真空電鍍與零件外表既無(wú)牢固的化學(xué)結(jié)合。

真空電鍍的簡(jiǎn)單作用過(guò)程:真空電鍍接通蒸發(fā)源交流電源,真空電鍍蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā),真空電鍍進(jìn)入光放電區(qū)并被電離。

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