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金屬靶材
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營(yíng)金屬靶材、金屬材料、光學(xué)鍍膜材料等。

濺射靶材使用指南及注意事項(xiàng)
靶材清潔
靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。
金屬靶材可以通過(guò)四步清潔,
第1步用在酒精中浸泡過(guò)的無(wú)絨軟布清潔;
第2步與第1步類似用酒精清潔;
第3步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過(guò)后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。 氧化物及陶瓷靶材的清洗建潔用“無(wú)絨布”進(jìn)行清潔。
第4步在完有污垢的區(qū)域后,再用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材, 以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會(huì)造成起弧的雜質(zhì)微粒.
靶材安裝
靶材安裝過(guò)程中最重要的注意事項(xiàng)是一定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴(yán)重或背板翹曲嚴(yán)重會(huì)造成靶材安裝時(shí)發(fā)生開裂或彎曲,背靶到靶材的導(dǎo)熱性能就會(huì)受到很大的影響,導(dǎo)致在濺射過(guò)程中熱量無(wú)法散發(fā)最終會(huì)造成靶材開裂或脫靶 為確保足夠的導(dǎo)熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請(qǐng)注意一定要仔細(xì)檢查和明確所使用濺射槍冷卻壁的平整度,同時(shí)確保O型密封圈始終在位置上。

石久高研專注15年提供高純金屬靶材 、高純靶材歡迎來(lái)電咨詢~~~





濺射靶材
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營(yíng)金屬靶材、金屬材料、光學(xué)鍍膜材料等。

靶材要求:
純度 陶瓷靶材的純度對(duì)濺射薄膜的性能影響很大,陶瓷靶材的純度越高,濺射薄膜的均勻性和批量產(chǎn)品質(zhì)量的一致性越好。近年來(lái)隨著微電子產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,鉻靶批發(fā)價(jià)格,硅器件布線寬度已發(fā)展到0.13μm,對(duì)成膜面積的薄膜均勻性要十分嚴(yán)格,其純度必須大于4N。此外顯示平面用的ITO靶材對(duì)純度也要求十分嚴(yán)格,鉻靶報(bào)價(jià),要求ITO的純度都大于4N。磁性薄膜用陶瓷靶材的純度也要不低于3N。靶材作為濺射中的陰極源,鉻靶廠,固體中的雜質(zhì)是沉積薄膜的主要污染源,如:堿金屬離子(Na+、K+)易在絕緣層(SiO)中成為可移動(dòng)性離子,降低元器件性能,其含量須在0.01ppm(重量)以下。

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濺射靶材
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。

由金屬靶面通過(guò)反應(yīng)濺射工藝形成化合物的過(guò)程中,化合物是在哪里形成的呢?由于活性反應(yīng)氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成化合物原子,通常是放熱反應(yīng),鉻靶,反應(yīng)生成熱必須有傳導(dǎo)出去的途徑,否則,該化學(xué)反應(yīng)無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行。在真空條件下氣體之間不可能進(jìn)行熱傳導(dǎo),所以,化學(xué)反應(yīng)必須在一個(gè)固體表面進(jìn)行。反應(yīng)濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結(jié)構(gòu)表面進(jìn)行。

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