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濺射靶材
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。

鋁靶材用途:
適用于直流二極濺射、三極濺射、四級濺射、射頻濺射、對向靶濺射、離子束濺射、磁控濺射等,銀靶廠,可鍍制反光膜、導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體薄膜、電容器薄膜、裝飾膜、保護膜、集成電路、顯示器等,相對其它靶材,鋁靶材的價格較低,所以鋁靶材是在能滿足膜層的功能前提下的靶材料。

石久高研專注15年提供高純金屬靶材 、高純靶材歡迎來電咨詢~~~





濺射靶材使用指南及注意事項
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。

濺射靶材保持真空腔體尤其是濺射系統(tǒng)潔凈是非常重要的。任何由潤滑油和灰塵以及前期鍍膜所形成的殘留物會收集水氣及其他污染物,直接影響真空度獲得和增加成膜失敗的可能性。短路或靶材起弧,成膜表面粗糙及化學雜質(zhì)含量超標經(jīng)常是由于不潔凈的濺射室、濺射槍和靶材引起的。

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金屬靶材
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。

濺射靶材使用指南及注意事項
靶材預(yù)濺射
靶材預(yù)濺射建議采用純氬氣進行濺射,可以起到清潔靶材表面的作用。靶材進行預(yù)濺射時建議慢慢加大濺射功率,陶瓷類靶材的功率加大速率建議為1.5W小時/平方厘米。金屬類靶材的預(yù)濺射速度可以比陶瓷靶材塊,銀靶,一個合理的功率加大速率為1.5W小時/平方厘米。
在進行預(yù)濺射的同時需要檢查靶材起弧狀況,銀靶批發(fā)價格,預(yù)濺射時間一般為10分鐘左右。如沒有起弧現(xiàn)象,繼續(xù)提升濺射功率到設(shè)定功率。根據(jù)經(jīng)驗,銀靶廠家,金屬靶材可承受的濺射功率為25watts/平方厘米,陶瓷靶材為10watts/平方厘米。請同時參考用戶系統(tǒng)操作手冊中關(guān)于濺射時真空腔體壓力的設(shè)定根據(jù)經(jīng)驗,一般應(yīng)確保冷卻水出水口的水溫應(yīng)低于35攝氏度,但最重要的是確保冷卻水的循環(huán)系統(tǒng)能有效工作,通過冷卻水的快速循環(huán)帶走熱量,是確保能以較高功率連續(xù)濺射的一項重要保障。對于金屬靶材一般建議冷卻水流量為20LPM水壓在5GMP左右;對于陶瓷靶材一般建議水流量在30LPM水壓在9GMP左右。

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