XD真空泵鍍膜機(jī)用真空泵|亨泰機(jī)電|XD真空泵

　目前，我們已測(cè)試了國產(chǎn)鐵氧體材料（用于踢軌磁鐵）和鎂膜（用于鎂探針）的表面出氣率，XD真空泵實(shí)驗(yàn)室用真空泵，分別為10-10pal/scm2和10-9pal/scm2，結(jié)論是可以用于超高真空系統(tǒng)，但在配泵等方面需要有所考慮。在材料出氣率很低的情況下（≤10-10pal/scm2）用這種方法測(cè)出的數(shù)據(jù)受規(guī)管本身讀數(shù)誤差及測(cè)試系統(tǒng)重復(fù)性誤差影響較大。我們參照日本真空株式會(huì)社研制的兩路徑之間閥門切換法對(duì)現(xiàn)有裝置進(jìn)行改進(jìn)，可以規(guī)管的影響。并用專門的樣品室放置樣品，更換樣品時(shí)用閥門將樣品室與測(cè)試罩隔開，可以保持測(cè)試罩的真空狀態(tài)，以減小測(cè)試系統(tǒng)重復(fù)性誤差。改造后的測(cè)試系統(tǒng)將使出氣率測(cè)試下限降低1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。

　　規(guī)管校準(zhǔn)裝置csr真空系統(tǒng)上要用大量的真空測(cè)量規(guī)管，我們有必要在實(shí)驗(yàn)室建立二級(jí)規(guī)管校準(zhǔn)裝置對(duì)所用規(guī)管進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)室直徑5400mm，上下封頭為圓弧面使氣體流動(dòng)更均勻。7個(gè)540的測(cè)量口在同一水平面上均勻分布，由cf35法蘭與各規(guī)管相連。采用經(jīng)國防科工委計(jì)量一級(jí)站校準(zhǔn)的ie514（真空計(jì)im520）作為標(biāo)準(zhǔn)規(guī)，其它規(guī)管讀數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)規(guī)進(jìn)行比對(duì)，給出校準(zhǔn)曲線。

小型真空泵在使用過程應(yīng)當(dāng)注意：

1、帶負(fù)載啟動(dòng)問題。

如果小型真空泵在啟動(dòng)前它的抽氣口就已經(jīng)存在真空或排氣口已經(jīng)存在壓力，XD真空泵鍍膜機(jī)用真空泵，則要考慮泵的另一技術(shù)參數(shù)：進(jìn)氣口啟動(dòng)負(fù)載，排氣口啟動(dòng)負(fù)載值。

2、小型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，XD真空泵，選擇要普通型的還是要高溫型的。

3、小型真空泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定，XD真空泵線路板用真空泵，完全根據(jù)自己的要求。特別注意，這項(xiàng)參數(shù)是在滿負(fù)荷、不間斷的運(yùn)行狀態(tài)下測(cè)定的，是最惡劣的工況，如果實(shí)際使用不是滿載或連續(xù)運(yùn)行，該數(shù)值會(huì)高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗(yàn)制造商的技術(shù)實(shí)力，從產(chǎn)品外觀上可以看出一些，如采用特電機(jī)而非普通電機(jī)、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價(jià)格也可略知一二。

4、小型真空泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制小型真空泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的小型真空泵。