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目前微型加工技術(shù)主要有基于從半導(dǎo)體集成電路微細加工工藝中發(fā)展起來的硅平面加工和體加工工藝.上世紀八十年代中期以后在LIGA加工(微型鑄模電鍍工藝).準LIGA加工.超微細加工.微細電火花加工(EDM).等離子束加工.電子束加工.快速原型制造(RPM)以及鍵合技術(shù)等微細加工工藝方面取得相當大的進展. 微型機械系統(tǒng)可以完成大型機電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù)


微型機械與電子技術(shù)緊密結(jié)合.將使種類繁多的微型器件問世.這些微器件采用大批量集成制造.價格低廉.將廣泛地應(yīng)用于人類生活眾多領(lǐng)域.可以預(yù)料.在本世紀內(nèi).微型機械將逐步從實驗室走向適用化.對工農(nóng)業(yè).信息.環(huán)境.生物.空間.國防等領(lǐng)域的發(fā)展將產(chǎn)生重大影響.微細機械加工技術(shù)是微型機械技術(shù)領(lǐng)域的一個非常重要而又非?;钴S的技術(shù)領(lǐng)域.其發(fā)展不僅可帶動許多相關(guān)學科的發(fā)展.更是與國家科技發(fā)展.經(jīng)濟和國防建設(shè)息息相關(guān)


