cmos傳感器,傳感器,科動(dòng)電子(查看)

1、供電系統(tǒng)的抗干擾設(shè)計(jì)

　　　對(duì)傳感器、儀器儀表正常工作危害最嚴(yán)重的是電網(wǎng)尖峰脈沖干擾，產(chǎn)生尖峰干擾的用電設(shè)備有：電焊機(jī)、大電機(jī)、可控機(jī)、繼電接觸器、帶鎮(zhèn)流器的充氣照明燈，甚至電烙鐵等。尖峰干擾可用硬件、軟件結(jié)合的辦法來(lái)抑制。1)用硬件線路抑制尖峰干擾的影響常用辦法主要有三種：①在儀器交流電源輸入端串入按頻譜均衡的原理設(shè)計(jì)的干擾控制器，cmos傳感器，將尖峰電壓集中的能量分配到不同的頻段上，從而減弱其破壞性；②在儀器交流電源輸入端加超級(jí)隔離變壓器，利用鐵磁共振原理抑制尖峰脈沖③在儀器交流電源的輸入端并聯(lián)壓敏電阻，利用尖峰脈沖到來(lái)時(shí)電阻值減小以降低儀器從電源分得的電壓，從而削弱干擾的影響。(2)利用軟件方法抑制尖峰干擾對(duì)于周期性干擾，可以采用編程進(jìn)行時(shí)間濾波，也就是用程序控制可控硅導(dǎo)通瞬間不采樣，從而有效地干擾。(3)采用硬、軟件結(jié)合的看門(mén)狗(watchdog)技術(shù)抑制尖峰脈沖的影響

硅電容壓力傳感器是一種結(jié)構(gòu)型傳感器

壓力傳感器-硅電容壓力傳感器性能特征：

一、適合批量生產(chǎn)，成本低

硅電容壓力傳感器利用MEMS工藝制作，芯片尺寸為3mm×3mm，一個(gè)4寸硅片可制作幾百個(gè)元件。產(chǎn)品的工藝性好，性能一致，適合批量生產(chǎn)，風(fēng)壓傳感器，低成本運(yùn)

行。其制備工藝與IC工藝兼容，工藝裝備無(wú)須象硅諧振傳感器的工藝裝備那樣昂貴和復(fù)雜，也無(wú)須象金屬膜片電容傳感器那樣單件制作，保證了硅電容傳感器具有

高的性能價(jià)格比。

二、穩(wěn)定性好

硅電容壓力傳感器是一種結(jié)構(gòu)型傳感器，壓力傳感器就檢測(cè)原理而言，其穩(wěn)定性優(yōu)于物性型傳感器，從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)角度保證了該類傳感器的穩(wěn)定性；結(jié)構(gòu)工藝采用全硬

封固態(tài)工藝，硅-玻璃-金屬導(dǎo)壓管采用靜電封接，色標(biāo)傳感器，減少了用膠封等引起的應(yīng)力、滯遲和變差；電容對(duì)溫度不靈敏，溫度附加誤差小，不需象硅壓阻器件那樣進(jìn)行復(fù)

雜的溫度補(bǔ)償。穩(wěn)定性好是硅電容傳感器深受用戶好感的主要原因之一。

三、指標(biāo)

電容傳感器本身具有小功率、高阻抗、靜電引力小、可動(dòng)質(zhì)量小、發(fā)熱影響小的特點(diǎn)，傳感器，并可進(jìn)行非接觸測(cè)量。硅電容傳感器綜合性能指標(biāo)如非線性、過(guò)載、靜壓、可

靠性等性能優(yōu)于硅壓阻傳感器、陶瓷電容傳感器、金屬膜片電容傳感器。它與硅諧振傳感器相當(dāng)，特別是用戶追求的非線性指標(biāo)，通常硅電容傳感器的非線性優(yōu)于

0.05％FS的成品率大于60％。