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霍耳式位移傳感器 它的測量原理是保持霍耳元件(見半導(dǎo)體磁敏元件)的激勵電流不變,并使其在一個梯度均勻的磁場中移動,加速傳感器,則所移動的位移正比于輸出的霍耳電勢。磁場梯度越大,靈敏度越高;梯度變化越均勻,霍耳電勢與位移的關(guān)系越接近于線性。2中是三種產(chǎn)生梯度磁場的磁系統(tǒng):a系統(tǒng)的線性范圍窄,位移Z=0時,霍耳電勢≠0;b系統(tǒng)當(dāng)Z2毫米時具有良好的線性,Z=0時,磁致伸縮位移傳感器,霍耳電勢=0;c系統(tǒng)的靈敏度高,測量范圍小于1毫米。圖中N、S分別表示正、負磁極。霍耳式位移傳感器的慣性小、頻響高、工作可靠、壽命長,因此常用于將各種非電量轉(zhuǎn)換成位移后再進行測量的場合。

