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一、采用偏焦標(biāo)刻一定范圍的內(nèi)容
因?yàn)槊恳粋€(gè)聚焦鏡都有對(duì)應(yīng)的焦深范圍,而采用偏離焦點(diǎn)的辦法會(huì)容易導(dǎo)致大范圍標(biāo)刻圖案時(shí),邊緣處在焦深臨界點(diǎn)或者超出焦深范圍,這樣就比較容易造成效果的不均勻性。因此,偏焦標(biāo)刻的方法須考慮激光能量的問題。
二、激光輸出光斑被遮擋,即激光光束經(jīng)過振鏡及場(chǎng)鏡后光斑有缺,光纖激光打標(biāo)機(jī)報(bào)價(jià),不夠圓
激光輸出頭、固定夾具與振鏡等未調(diào)好,導(dǎo)致激光經(jīng)過振鏡頭時(shí)部分光斑被遮擋,經(jīng)場(chǎng)鏡聚焦后在倍頻片上所呈現(xiàn)的光斑為非圓形,光纖激光打標(biāo)機(jī)操作,這樣也有可能會(huì)導(dǎo)致效果不均勻?! ?/p>
還有一種情況,即振鏡偏轉(zhuǎn)鏡片有損傷,當(dāng)激光光束通過鏡片損傷區(qū)域時(shí),湖北光纖激光打標(biāo)機(jī),無法很好地反射出去。因此,激光束經(jīng)過鏡片損傷區(qū)域與鏡片無損傷區(qū)域激光能量有不一致,最終作用在材料上的激光能量也不一樣,從而使標(biāo)刻效果不均勻?!?/p>
三、熱透鏡現(xiàn)象
當(dāng)激光通過光學(xué)鏡片(折射、反射)時(shí),會(huì)使鏡片發(fā)熱產(chǎn)生細(xì)微的形變。這種形變會(huì)使激光聚焦焦點(diǎn)上升,焦距變短。若機(jī)臺(tái)固定,將距離調(diào)整到焦點(diǎn)處時(shí),開激光一段時(shí)間后,會(huì)因?yàn)闊嵬哥R現(xiàn)象而使作用在材料上的激光能量密度發(fā)生變化,光纖激光打標(biāo)機(jī)效果,從而導(dǎo)致標(biāo)刻效果不均勻?! ?/p>
四、機(jī)臺(tái)水平未調(diào)好,即激光振鏡頭或場(chǎng)鏡鏡頭與加工臺(tái)面不平行
由于二者不水平,會(huì)導(dǎo)致激光光束通過場(chǎng)鏡后到達(dá)加工物件上的距離長短不一致,最終激光落在加工物件上的能量會(huì)有不一致的能量密度,此時(shí)就會(huì)在材料上表現(xiàn)出效果的不均勻?!?/p>
五、材料的原因,如材料表面的膜層厚度不一致或物理化學(xué)性質(zhì)變化
材料對(duì)激光能量反應(yīng)比較敏感。通常在同種材料下,激光能量達(dá)到材料破壞閾值是一定的。當(dāng)材料鍍膜厚度不一,或有一些其他物理化學(xué)處理工藝不夠均勻時(shí),同樣也會(huì)造成激光標(biāo)刻后的效果的不均勻。

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自上世紀(jì)六十年代第y臺(tái)激光器設(shè)備問世以來,關(guān)于激光及其在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用的研究得到了迅猛的發(fā)展,近20年來,激光制造技術(shù)已滲透入到諸多高科技領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),其中激光技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用是最為廣泛和活躍的領(lǐng)域之一。
近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長,硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。
隨著晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向于輕薄化,傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用,于是在部分工序引入了激光技術(shù)。
在諸多激光技術(shù)中脈沖激光特別是超短脈沖激光在精密加工領(lǐng)域應(yīng)用又尤為廣泛,超短脈沖激光是指激光單個(gè)脈沖寬度達(dá)到甚至小于10-12秒(即皮秒)這個(gè)量級(jí)的激光。
由于激光脈沖時(shí)間寬度極短,在某個(gè)頻率(即一定脈沖個(gè)數(shù))下需要釋放設(shè)定的激光功率,單個(gè)脈沖的激光功率就是固定的,將單個(gè)脈沖的能量在極短的時(shí)間釋放出去,造成瞬時(shí)功率極高(兆瓦及以上),瞬間改變材料性質(zhì),平均功率很低對(duì)材料加工區(qū)域熱影響很小的加工效果即激光冷加工。
超短脈沖激光加工具有諸多獨(dú)特的優(yōu)勢(shì):
1. 非接觸式加工:激光的加工只有激光光束與加工件發(fā)生接觸,沒有刀削力作用于切割件,避免對(duì)加工材料表面造成損傷。
2. 加工精度高,熱影響?。好}沖激光可以做到瞬時(shí)功率極高、能量密度極高而平均功率很低,可瞬間完成加工且熱影響區(qū)域極小,確保高精密加工,小熱影響區(qū)域。
3. 加工效率高,經(jīng)濟(jì)效益好:激光加工效率往往是機(jī)械加工效果的數(shù)倍且沒有耗材無污染。

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