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銅基合金釬料釬焊金剛石的工藝及方法

西安交通大學(xué)的孟衛(wèi)如等應(yīng)用真空爐中釬焊的方法,對金剛石釬料的適應(yīng)性進(jìn)行了試驗研究。分別采用3種含有強(qiáng)碳化物形成元素Cr、Ti的BNi2(NiCrSiB)、BNi7(NiCrP)及自制的CuSnNiTi釬料,在各自的釬焊溫度分別為1050℃、950℃和900℃、保溫時間10min及真空度0.13Pa的條件下,氨分解爐,單層釬焊金剛石圓鋸片(φ125mm)。通過掃描電鏡觀察形貌和X射線能譜分析成分,表明3種釬料對金剛石有很好的潤濕性,釬料中的Cr、Ti元素會向金剛石表面擴(kuò)散,并與金剛石中的C元素結(jié)合生成碳化物。碳化物的形成使金剛石、釬料與基體之間產(chǎn)生了化學(xué)冶金結(jié)合,提高了對金剛石的把持力,但結(jié)合狀況及鋸切性能隨釬料的不同而存在差異。


退火爐
佛山市榮東盛爐業(yè)有限公司 退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,氨分解爐,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋該诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,氨分解爐原理,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,氨分解爐工作原理,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
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