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復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,福州凈化工程潔凈室,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

局部照明這是為增加某一地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,福州裝修潔凈室,但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。

凈化區(qū)內(nèi)搬運(yùn)物料及機(jī)具搬運(yùn)應(yīng)輕拿輕放,防止碰撞壁板或頂板。工具或材料搬運(yùn)時(shí)必須完全離開地面,不得在地面上拖行。管道等長度≥1.5米的材料必須由兩人進(jìn)行搬運(yùn),一人拿一端,不得一人獨(dú)自搬運(yùn);凈化區(qū)使用的腳手架必須清掃干凈、踏板必須用保鮮膜包裹好,潔凈室,每個(gè)腳手架上必須配備一套清掃工具。所有設(shè)備(包括腳手架、推車等)車輪必須是橡膠輪子,而且輪子必須用透明膠帶纏緊;不得在凈化室進(jìn)行任何電焊、鉆孔、切割、打磨等加工作業(yè),不得已時(shí)需向業(yè)主申請(qǐng)并做好防護(hù)措施
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