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CMP,即Chemical
Mechanical Polishing,化學(xué)機(jī)械拋光。CMP技術(shù)所采用的設(shè)備及消耗品包括:拋光機(jī)、拋光漿料、拋光墊、后CMP清洗設(shè)備、拋光終點(diǎn)檢測(cè)及工藝控制設(shè)備、廢物處理和檢測(cè)設(shè)備等。
CMP技術(shù)的概念是1965年由Monsanto提出。該技術(shù)最初是用于獲取高質(zhì)量的玻璃表面,如望遠(yuǎn)鏡等。1988年IBM開(kāi)始將CMP技術(shù)運(yùn)用于4MDRAM 的制造中,而自從1991年IBM將CMP成功應(yīng)用到64MDRAM
的生產(chǎn)中以后,CMP技術(shù)在各地迅速發(fā)展起來(lái)。區(qū)別于傳統(tǒng)的純機(jī)械或純化學(xué)的拋光方法,CMP通過(guò)化學(xué)的和機(jī)械的綜合作用,從而避免了由單純機(jī)械拋光造成的表面損傷和由單純化學(xué)拋光易造成的拋光速度慢、表面平整度和拋光一致性差等缺點(diǎn)。它利用了磨損中的'軟磨硬'原理,即用較軟的材料來(lái)進(jìn)行拋光以實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的表面拋光。







拋光機(jī)與打蠟機(jī)生產(chǎn)中很常見(jiàn),圓管自動(dòng)拋光機(jī),很多人或許都耳聞目睹過(guò),于是有些人可能會(huì)混淆兩者之間的概念,簡(jiǎn)單地認(rèn)為,兩者之間的功能都是相同的,其實(shí),在彎管拋光機(jī)學(xué)者的眼中是有很大差別的,以下即是拋光機(jī)與打蠟機(jī)之間的差異比較。
首先,在概念上必須要弄清。拋光機(jī)其實(shí)是一種電動(dòng)工具,其構(gòu)成部分主要包括底座、拋盤(pán)、拋光織物、拋光罩及蓋等基本要素,電動(dòng)機(jī)固定在底座上,餐具自動(dòng)拋光機(jī),錐套通過(guò)螺釘與電動(dòng)機(jī)軸相互連接。打蠟機(jī)的運(yùn)作主要是基于電力,通過(guò)電力帶動(dòng)刷盤(pán)進(jìn)而對(duì)地板和光整地面進(jìn)行打蠟、打光行為。
但是,隨著當(dāng)前科學(xué)技術(shù)的日益進(jìn)步,拋光機(jī),如今的拋光機(jī)與打蠟機(jī)漸漸合二為一,用途多樣,一般情況下,只需要換打蠟海棉盤(pán)就可實(shí)現(xiàn)打蠟行為,更換羊毛輪就就可用來(lái)拋光打磨。
另外,從功能上看,自動(dòng)拋光機(jī),打蠟的目的即是增加光亮厚度,拋光的實(shí)質(zhì)即是打磨的同時(shí)減低厚度,因此,兩者之間的關(guān)系必須衡量好。
由此可見(jiàn),兩者之前不僅差別很大,而且可以說(shuō)是相反的,作為拋光人員,這是必須要明白清楚的。












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