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由于圓柱條形磁體濺射靶的磁鐵排列形式與磁環(huán)同軸圓柱靶完全不同,所以它的刻蝕溝道是兩個細長形跑道式的溝道。在濺射鍍膜過程中,只要永磁體的位置不變,則圓筒形靶材上的刻蝕區(qū)相對于該磁鐵系統(tǒng)的方位是固定的。因此,當(dāng)圓筒形靶材以適當(dāng)?shù)霓D(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動時,真空鍍膜機 價格,即可對靶材進行均勻的刻蝕。在靶磁體裝配時,可調(diào)整靶磁體的位置,使長環(huán)形刻蝕溝道對著基片(即使兩條較短的條形永磁體正對著基片方向)。想了解更多離子真空鍍膜機|金屬表面鍍膜機|真空鍍膜機設(shè)備請聯(lián)系佛山市佛欣真空設(shè)備有限公司


實際應(yīng)用表明,磁場在平行靶平面移動的陰極靶結(jié)構(gòu)可使放電區(qū)內(nèi)的電子跑道擴展,對靶材的濺射均勻,尤其在多成分復(fù)合靶材濺射時所得膜層的均勻性可得到改善。如圖員圓鄄圓園 所示,該結(jié)構(gòu)可將傳統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)磁控濺射靶的靶材的利用率從圓園豫左右提高到源園豫 耀緣園豫。但是這種靶磁場結(jié)構(gòu)的缺點是結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,增加了靶的制造難度和成本。想了解更多離子真空鍍膜機|金屬表面鍍膜機|真空鍍膜機設(shè)備請聯(lián)系佛山市佛欣真空設(shè)備有限公司

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