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X射線熒光能譜儀沒有復(fù)雜的分光系統(tǒng),測厚儀,結(jié)構(gòu)簡單。X射線激發(fā)源可用X射線發(fā)生器,也可用放射性同位素。能量色散用脈沖幅度分析器。探測器和記錄等與X射線熒光光譜儀相同。
X射線熒光光譜儀和X射線熒光能譜儀各有優(yōu)缺點。前者分辨率高,X-RAY測厚儀,對輕、重元素測定的適應(yīng)性廣。對高低含量的元素測定靈敏度均能滿足要求。后者的X射線探測的幾何效率可提高2~3數(shù)量級,靈敏度高??梢詫δ芰糠秶軐挼腦射線同時進行能量分辨(定性分析)和定量測定。對于能量小于2萬電子伏特左右的能譜的分辨率差。








?XTU-A、XTU-50A:五金產(chǎn)品、緊固件、汽車配件、衛(wèi)浴等,測量面積大于?0.2mm的產(chǎn)品
?XTU-BL:主要針對線路板等大平面,光譜測厚儀,但是需要測試?0.1mm以下,且求購儀器預(yù)算較低的客戶。
?XTU-50B、XTU-4C:可測試小至?0.05mm測量面積,且搭載的精密移動平臺和變焦鏡頭(XTU全系列都含有)能滿足各種需求。

