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EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)的, 根據(jù)不同元素特征X射線波長(zhǎng)的不同來測(cè)定試樣所含的元素。通過對(duì)比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測(cè)定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡使用,可以對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。
常用的EDX探測(cè)器是硅滲鋰探測(cè)器。當(dāng)特征X射線光子進(jìn)入硅滲鋰探測(cè)器后便將硅原子電離,產(chǎn)生若干電子-空穴對(duì),其數(shù)量與光子的能量成正比。利用偏壓收集這些電子空穴對(duì),經(jīng)過一系列轉(zhuǎn)換器以后變成電壓脈沖供給多脈沖高度分析器,并計(jì)數(shù)能譜中每個(gè)能帶的脈沖數(shù)。
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一、簡(jiǎn)單原理
每個(gè)元素受高能輻射激發(fā),即發(fā)射出具有一定特征的X射線譜線。通過軟件測(cè)試分析得出該譜線波長(zhǎng),即可知道是那種元素(定性);通過分析測(cè)試其強(qiáng)度,得出該元素含量(定量)。X熒光光譜分析是一種非常常見的分析技術(shù),
二、應(yīng)用領(lǐng)域
X熒光光譜儀作為一種常見的分析技術(shù)手段,在現(xiàn)實(shí)生活中有著非常廣泛的應(yīng)用,主要可以分為以下四大類:
1.鍍層行業(yè)
電鍍行業(yè)尤其以工業(yè)電鍍?yōu)橹?,在工業(yè)生產(chǎn)中,通常我們?yōu)榱水a(chǎn)品尤其是金屬類能達(dá)到一定的性能會(huì)在其表面鍍上另一種金屬,這種金屬電鍍的膜厚往往是受管控,而X熒光光譜儀就是其best的管控者。
2.重金屬檢測(cè)
我們的衣服帽子、喝水的杯子、小孩的玩具等等這些都跟我們有著緊密的關(guān)聯(lián),但這其中也許就含有對(duì)我們?nèi)梭w是有害的重金屬,測(cè)厚儀,如Cr、Br、Cl、Pb、Hg、Cd、As等長(zhǎng)期接觸會(huì)導(dǎo)致人體的病變甚至死亡,為了使用安全,工業(yè)生產(chǎn)時(shí)需對(duì)產(chǎn)品重金屬檢測(cè)管控(RoHS檢測(cè)),涂鍍層測(cè)厚儀,而X熒光儀器就能對(duì)其進(jìn)行監(jiān)測(cè)。
3.元素成分分析
元素成分分析應(yīng)用也是更加廣泛,如巖石礦產(chǎn)的開發(fā)開采,鋼鐵、銅合金、鋁合金等可能因某一種元素的含量不同就會(huì)大大改變其物理性質(zhì),為達(dá)到這種物理性質(zhì)就需要控制相關(guān)元素的含量,通過X熒光儀器的檢測(cè)就可以很好的生產(chǎn)出我們所需的物品,另外還可以利用成分分析原理對(duì)珠寶首飾進(jìn)行真假鑒定。
4.古董的檢測(cè)
X熒光儀器在古董的檢測(cè)鑒定上也起著重要的作用,通過儀器檢測(cè)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行定性分析可得其元素成分,從而對(duì)產(chǎn)品的年限進(jìn)行一個(gè)判斷,達(dá)克羅測(cè)厚儀,得出結(jié)論。



X熒光鍍層測(cè)厚儀標(biāo)準(zhǔn)片選擇與使用
1.一般要求
使用可靠的參考標(biāo)準(zhǔn)塊校準(zhǔn)儀器。最后的測(cè)量不確定度直接取決于校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)塊的測(cè)量不確定度和測(cè)量精度。
參考標(biāo)準(zhǔn)塊應(yīng)具有的已知單位面積質(zhì)量或厚度的均勻的覆蓋層,凹槽測(cè)厚儀,如果是合金,則應(yīng)知其組成。參考標(biāo)準(zhǔn)塊的有效或限定表面的任何位置的覆蓋層不能超過規(guī)定值的±5%.只要用于相同的組成和同樣或已知密度的覆蓋層,規(guī)定以厚度為單位(而不是單位面積質(zhì)量)的標(biāo)準(zhǔn)塊,將是可靠的。合金組成的測(cè)定,校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)不需要相同,但應(yīng)當(dāng)已知。
金屬箔標(biāo)準(zhǔn)片。如果使用金屬箔貼在特殊基體表面作標(biāo)準(zhǔn)片,就必須注意確保接觸清潔,無皺折紐結(jié)。任何密度差異,除非測(cè)量允許,否則必須進(jìn)行補(bǔ)償后再測(cè)。
2.標(biāo)準(zhǔn)塊的選擇
可用標(biāo)準(zhǔn)塊的單位面積厚度單位校準(zhǔn)儀器,厚度值必須伴隨著覆蓋層材料的密度來校正。標(biāo)準(zhǔn)片應(yīng)與被測(cè)試樣具有相同的覆蓋層和基體材料,但對(duì)試樣基材為合金成分的,有些儀器軟件允許標(biāo)樣基材可與被測(cè)試樣基材不同,但前提是標(biāo)準(zhǔn)塊基體材料與試樣基材中的主元素相同。
3.標(biāo)準(zhǔn)塊的X射線發(fā)射(或吸收)特性及使用
校正標(biāo)準(zhǔn)塊的覆蓋層應(yīng)與被測(cè)覆蓋層具有相同的X射線發(fā)射(或吸收)特性。
如果厚度由X射線吸收方法或比率方法確定,則厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的基體應(yīng)與被測(cè)試樣的基體具有相同的X射線發(fā)射特性,通過比較被測(cè)試樣與校正參考標(biāo)準(zhǔn)塊的未鍍基體所選的特征輻射的強(qiáng)度,然后通過軟件達(dá)到對(duì)儀器的校正。



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