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物理l氣相沉積(真空鍍膜)基本方法 :

1、從沉積粒子能量(中性原子)來看,真空蒸鍍?yōu)?.1-1eV,濺射為1-10eV,離子鍍?yōu)?.1-1eV(此外還有高能中性原子)。

2、從沉積速率來看,真空蒸鍍?yōu)?.1-70μm/min,濺射為0.01-0.05μm/min(磁控濺射接近于真空蒸鍍),離子鍍?yōu)?.1-50μm/min。






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真空鍍膜之多弧離子鍍 :

多弧離子鍍又稱電弧離子鍍或陰極離子鍍是以鍍膜材料為陰極,陽極和真空室相連,陰極和陽極分別接到低壓大電流直流電源的負(fù)極和正極。蒸鍍時(shí)由于放電,在陰極表面上出現(xiàn)明亮的弧斑, 從而使陰極材料蒸發(fā)并電離,塑料反光燈廠家, 形成金屬等離子體。引弧電極與陰極靶表面接觸和離開的瞬間,陰極和陽極之間形成穩(wěn)定的自持弧光放電。


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鍍膜原理

陰極真空磁控濺射的特點(diǎn):膜層厚度均勻、鍍膜速度快、基板溫度低。濺射鍍膜利用2個(gè)原理:輝光放電、連續(xù)撞擊。濺射過程是建立在氣體放電基礎(chǔ)上的,塑料反光燈,放電從低壓下開始的,氣體離子與靶材相互作用,離子不斷的撞擊靶表面,靶材從靶表面被轟擊下來然后在靶附近的基片(玻璃)上沉積下來,凝結(jié)成一層薄膜。



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