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潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,凈化工程廠家,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求;(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,凈化工程,擴散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風(fēng)速的可行性。在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s

有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式:(1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個被照面積而設(shè)置的照明。(2)局部照明這是指為增加某一指i定地點(如工作點)的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨使用局部照明。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國外潔凈室的強度要求極高,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準(zhǔn)的要求是.人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細程度更高時,500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為(25—501x),凈化工程廠房,用天然光時可允許更高的照度,因而對工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。
無塵車間怎樣有效的防止靜電
1、保持凈化車間達到一定的濕度,大家都知道北方地區(qū)或在干燥的冬季,所以靜電產(chǎn)生的故障要遠遠大于在東南沿海地區(qū)或其他季節(jié),因此在一些重要場所,例如 計算機機房、半導(dǎo)體凈化車間、電子儀器的裝配車間應(yīng)考慮保持一定濕度的問題,特別是對那些封閉形的空調(diào)房間,更應(yīng)有一定控制濕度的設(shè)備。
2、半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然,有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。
3、使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施,使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。
4、鋪設(shè)防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導(dǎo)電性能的塑料地板或地毯產(chǎn)品,能十分有效抑制由于人的行走產(chǎn)生靜電。 5、對于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應(yīng)有良好的接地性能,這種措施最為有效。
