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惰性氣體手套箱分為三種
A)真空手套箱:在操作前,對整個(gè)箱體抽真空,把箱體內(nèi)空氣完全抽掉,然后充上高純氣體即可使用。優(yōu)點(diǎn):設(shè)備便宜。缺點(diǎn):水氧雜質(zhì)含量高,通常在100PPM以上。
B)清洗手套箱:對手套箱進(jìn)行連續(xù)通氮?dú)?,不間斷地把泄漏入手套箱內(nèi)的氣體雜質(zhì)清洗出手套箱。優(yōu)點(diǎn):設(shè)備便宜。缺點(diǎn):運(yùn)作成本高,需要消耗大量的惰性氣體。水氧雜質(zhì)含量通常在10PPM以上。
C)循環(huán)手套箱:手套箱帶有氣體凈化氣體,手套箱內(nèi)的氣體不間斷地循環(huán)過氣體凈化系統(tǒng)把水氧和有機(jī)1雜質(zhì)除去。優(yōu)點(diǎn):運(yùn)作成本低,水氧含量低,通常小于1PPM;含PLC和觸摸屏,功能多。缺點(diǎn):設(shè)備價(jià)格較高。
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手套箱常見故障及解決辦法
1循環(huán)無法開啟
原因:電壓不穩(wěn)造成變頻器保護(hù),導(dǎo)致無法開啟循環(huán)。
辦法:等電壓穩(wěn)定后重啟手套箱即可解決。
2再生時(shí)用氣量遠(yuǎn)小于從前
原因:手套箱內(nèi)有機(jī)1含量過高,循環(huán)時(shí)有機(jī)1進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng),再生時(shí)有機(jī)1堵塞再生氣管路上的單向閥所致。
辦法:①將單向閥換為直通閥,從此再生壓力設(shè)置為0.03~0.04Mpa;②觀察再生氣流量計(jì)顯示是否在20ml/min左右,否則調(diào)整減壓閥壓力。
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手套箱在OLED器件制作過程中的應(yīng)用
OLED,即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode),是一種全新的顯示技術(shù)。與LCD相比,可視角度寬(大于170°)、響應(yīng)時(shí)間快(LCD的千分之一)、低溫特性好(在零下40度正常顯示)、低功耗等優(yōu)點(diǎn),被業(yè)界廣泛看好成為下一代顯示技術(shù),現(xiàn)在已廣泛應(yīng)用于車載顯示器、手機(jī)顯示屏等等。并且隨著OLED技術(shù)發(fā)展,白光OLED在照明領(lǐng)域也開始嶄露頭角,尤其在城市照明、廣告牌等行業(yè)被寄予非常高期望。
通常所說OLED其實(shí)包含小分子OLED和高分子OLED(也稱PLED)兩種。小分子OLED和高分子OLED的差異主要表現(xiàn)在器件的制備工藝不同:小分子器件主要采用真空熱蒸發(fā)成膜工藝,高分子器件則采用旋轉(zhuǎn)涂覆或噴涂印刷成膜工藝。
OLED器件的制備工藝大致包括:ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前處理→真空蒸鍍有機(jī)層→真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護(hù)層→封裝→切割→測試→模塊組裝→產(chǎn)品檢驗(yàn)等十幾道工序
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