壓力薄膜傳感器-卓揚(yáng)測(cè)控，常用傳感器-壓力薄膜傳感器廠商

電容式壓力傳感器是一種利用電容作為敏感元件，將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成電容值改動(dòng)的壓力傳感器，這種壓力傳感器的性能是怎樣的，怎么工作的呢？東莞市卓揚(yáng)測(cè)控技術(shù)有限公司來(lái)給大家簡(jiǎn)略介紹一下吧。

這種壓力傳感器一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個(gè)電極，當(dāng)薄膜感受壓力而變形時(shí)，薄膜與固定電極之間構(gòu)成的電容量發(fā)生變化，壓力薄膜傳感器生產(chǎn)商，經(jīng)過(guò)測(cè)量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)，電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，壓力薄膜傳感器生產(chǎn)廠，可分為單電容式壓力傳感器和差動(dòng)電容式壓力傳感器。

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隨著應(yīng)用領(lǐng)域的細(xì)分，高溫油井、各類發(fā)動(dòng)機(jī)腔體等高溫惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量愈發(fā)重要，而普通壓力傳感器所用材料在超過(guò)一定溫度時(shí)會(huì)失效，導(dǎo)致壓力測(cè)量失敗，壓力薄膜傳感器廠商，因此高溫壓力傳感器成為一個(gè)非常重要的研究方向。

根據(jù)所用材料的不同，高溫壓力傳感器可以分為多晶硅高溫壓力傳感器、SiC高溫壓力傳感器、SOI高溫壓力傳感器、SOS硅-藍(lán)寶石壓力傳感器、光纖高溫壓力傳感器等不同類型。

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壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件，它是基于壓阻效應(yīng)工作的，所謂壓阻元件實(shí)際上就是指在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，當(dāng)它受外力作用時(shí)，其阻值由于電阻率的變化而改變，擴(kuò)散電阻正常工作時(shí)需依附于彈性元件，常用的是單晶硅膜片。

壓阻式壓力傳感器壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結(jié)構(gòu)，封裝在外殼內(nèi)，在一塊圓形的單晶硅膜片上，布置四個(gè)擴(kuò)散電阻，兩片位于受壓應(yīng)力區(qū)，另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū)，它們組成一個(gè)全橋測(cè)量電路。

硅膜片用一個(gè)圓形硅杯固定，兩邊有兩個(gè)壓力腔，一個(gè)和被測(cè)壓力相連接的高壓腔，另一個(gè)是低壓腔，接參考?jí)毫?，通常和壓大氣相通，?dāng)存在壓差時(shí)，膜片產(chǎn)生變形，使兩對(duì)電阻的阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡，其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。

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