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手套箱在OLED器件制作過程中的應(yīng)用

OLED，即有機(jī)發(fā)光二極管（Organic Light-Emitting Diode），是一種全新的顯示技術(shù)。與LCD相比，可視角度寬（大于170°）、響應(yīng)時間快（LCD的千分之一）、低溫特性好（在零下40度正常顯示）、低功耗等優(yōu)點(diǎn)，被業(yè)界廣泛看好成為下一代顯示技術(shù)，現(xiàn)在已廣泛應(yīng)用于車載顯示器、手機(jī)顯示屏等等。并且隨著OLED技術(shù)發(fā)展，白光OLED在照明領(lǐng)域也開始嶄露頭角，尤其在城市照明、廣告牌等行業(yè)被寄予非常高期望。

通常所說OLED其實(shí)包含小分子OLED和高分子OLED（也稱PLED）兩種。小分子OLED和高分子OLED的差異主要表現(xiàn)在器件的制備工藝不同：小分子器件主要采用真空熱蒸發(fā)成膜工藝，高分子器件則采用旋轉(zhuǎn)涂覆或噴涂印刷成膜工藝。

OLED器件的制備工藝大致包括：ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前處理→真空蒸鍍有機(jī)層→真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護(hù)層→封裝→切割→測試→模塊組裝→產(chǎn)品檢驗(yàn)等十幾道工序

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手套箱操作步驟

抽真空與充氣的放法：

1、本產(chǎn)品分為主箱體和過渡室兩部分。主箱體不能單獨(dú)抽真空，過渡室則可以單獨(dú)抽真空。

2、先打開過渡室里面的門，然后關(guān)上所有手套接口壓蓋、閥門和過渡室外的門。

3、打開手套口之間的三通閥（逆時針旋轉(zhuǎn)），分子篩價格，將手套接口壓蓋與手套之間的空間接通箱體，使得抽氣時手套內(nèi)外（箱體和接口）同時抽真空，保持兩邊氣壓平衡。

4、將真空泵接到過渡室一個閥門上，開啟真空泵，緩緩打開此閥門，對系統(tǒng)抽氣（如打開閥門的速度太快，可能引起手套膨脹）。

5、待真空表指針下降并穩(wěn)定在—0.1MPa時，抽真空完成，此時應(yīng)先關(guān)閥門再關(guān)真空泵。

6、然后通過另一閥門向箱體內(nèi)充入惰性氣體，直至氣壓比大氣壓（氣壓表指數(shù)為0MPa）略高一點(diǎn)，使箱體內(nèi)、外的壓力基本平衡，且內(nèi)部略高于外部，可保證大氣不會滲入箱體內(nèi)部（如果您想使箱體內(nèi)的氣體更純凈，將以上抽氣和充氣過程重復(fù)幾次）。關(guān)掉連接手套接口的三通閥，打開手套接口上的壓蓋，就可以進(jìn)行操作了。

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手套箱常見故障及解決辦法

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱調(diào)試或誤操作。

辦法：停止循環(huán)，開啟清洗，清洗至100ppm以下，開啟循環(huán)。

2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4MPa或主閥信號故障

原因：氣源壓力不足。

辦法：換氣瓶，增大壓力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕顯示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力過大，造成跳閘。

辦法：維修真空泵后，打開電柜，合上跳閘開關(guān)。

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