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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機真空腔室中設有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料；在金屬真空腔室中設有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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手套箱操作過程中的注意事項

1、手套箱系統(tǒng)工作中真空泵應保持開啟狀態(tài)。

2、當箱內(nèi)氧氣濃度超出200PPM時，應通知設備維修人員進行系統(tǒng)操作，否則會破壞水、氧凈化系統(tǒng)。

3、在手套箱啟動循環(huán)前做檢查，是否在進行箱體情況或再生。如以上提及的操作正在進行，肯定禁止進行循環(huán)。

4、兩個凈化柱不可以同時再生。

A、再生前先保證手套箱內(nèi)已被惰性氣體清洗干凈(H2O<200ppm)保證足夠的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。

B、手套箱啟動再生之前，請先確認相應的凈化柱循環(huán)已關(guān)閉。

C、手套箱再生過程需要24小時，一旦執(zhí)行不能被斷開，再生開始后3-6小時通再生氣體注意再生氣的用量，適當調(diào)整再生氣體的壓力，保證再生氣在這3小時的充足供應，第6小時后可以關(guān)閉再生來源。

D、手套箱再生進程中真空泵不可以關(guān)閉，不要觸摸凈化柱的頂部，以防燙壞。

E、再生一旦意外終止，請保證12小時內(nèi)不能重新啟動該凈化柱的再生和循環(huán)否則將損壞設備。

5、手套箱作業(yè)中應注意保護作業(yè)手套不要被損壞。

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焊接手套箱

在航空航天和醫(yī)1療應用中使用的高性能材料如鈦或鎂容易在焊接的過程中氧化并變脆，難以焊接。另外在焊接過程會產(chǎn)生的危險氣體與顆粒物質(zhì)對人體傷害極大。

焊接手套箱針對解決激光焊接中空氣中的濕度以及空氣中雜質(zhì)的影響，該手套箱有兩個90度方艙，左側(cè)為加熱艙，右側(cè)為過渡艙，加熱艙最1高溫度200℃，加熱板可以同期快速冷卻，方艙門外側(cè)為手動門，內(nèi)門為自動門，內(nèi)外門互鎖，手套箱體通過流量計控制清洗，也可以連接凈化系統(tǒng)。

功能描述：

1、泄漏低；2、箱體內(nèi)水氧含量低；3、設備整體性能穩(wěn)定；4、水氧檢測真實可靠

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