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質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點是什么?
(1) 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,流體系統(tǒng)控制單元哪有賣,很難避免系統(tǒng)的壓動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計。
(2) 測量控制的自動化
質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。
(3) 定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL)
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體積流量的表示方法
對多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用,流體系統(tǒng)控制單元多少錢,但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干slm)即可實現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內(nèi)計量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會制定的SEMI。
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流體系統(tǒng)
流體系統(tǒng)是與具體實際管網(wǎng)模型相對應(yīng)的流動元件集合,流體系統(tǒng)控制單元哪家好,各個流動元件都有實際的物理模型與之相對應(yīng)。流體介質(zhì)是流體系統(tǒng)中的流動物質(zhì),流體介質(zhì)的狀態(tài)和屬性直接影響流體系統(tǒng)對流體介質(zhì)的輸運能力、熱傳導(dǎo)能力及其流體的作功能力。流體系統(tǒng)是由各種流動元件相互連接而成,流動元件包括流體存儲元件、流體單向輸運元件、流體多向輸運元件。流體單向輸運元件只有一個進口和一個出口,流體系統(tǒng)控制單元,如各種管道、流體增壓泵、氣體壓縮機等。流體多向輸運元件主要用于分流和匯流,如三通接頭、四通接頭以及引射泵等。流體存儲元件一般有流體體積或質(zhì)量, 有一個或多個單向輸運元件與之相連,其流量既可能流進,也可能流出。
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