單軸石英撓性加速度計(jì)型號

加速度計(jì)由檢測質(zhì)量（也稱敏感質(zhì)量）、支承、電位器、彈簧、阻尼器和殼體組成。檢測質(zhì)量受支承的約束只能沿一條軸線移動，這個(gè)軸常稱為輸入軸或敏感軸。當(dāng)儀表殼體隨著運(yùn)載體沿敏感軸方向作加速運(yùn)動時(shí)，根據(jù)牛頓定律，具有一定慣性的檢測質(zhì)量力圖保持其原來的運(yùn)動狀態(tài)不變。它與殼體之間將產(chǎn)生相對運(yùn)動，使彈簧變形，于是檢測質(zhì)量在彈簧力的作用下隨之加速運(yùn)動。石英撓性加速度計(jì)主要有4個(gè)分類，分別是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等，產(chǎn)品具有量程較大，穩(wěn)定性能好，精度高，氣密性能好的特點(diǎn)，主要應(yīng)用在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)，平臺慣導(dǎo)系統(tǒng)，并在航空、航天、艦船、慣性測量和制導(dǎo)等行業(yè)。石英撓性加速度計(jì)在天舟一號發(fā)揮了巨大作用，石英撓性加速度計(jì)成功為飛船返回艙提供了準(zhǔn)確的測量，為交會對接提供速度增量測量、為飛船姿態(tài)控制提供微重力測量、為飛船返回艙提供速度測量等。

加速度計(jì)靈敏度高，測量精度高，且不易受到外界環(huán)境的干擾。石英擺式加速度計(jì)，包括上極板、中間極板和下極板，所述上極板和所述下極板均由鍵合區(qū)、電容平板區(qū)和電極引線區(qū)組成，所述鍵合區(qū)圍在所述電容平板區(qū)的四周，所述電極引線區(qū)一端懸空，另一端穿過所述鍵合區(qū)與所述電容平板區(qū)連接，所述鍵合區(qū)的厚度大于所述電容平板區(qū)的厚度；所述中間極板由鍵合區(qū)、質(zhì)量塊、撓性梁和電極引線區(qū)組成，所述鍵合區(qū)為環(huán)狀，所述質(zhì)量塊經(jīng)所述撓性梁與所述鍵合區(qū)內(nèi)側(cè)邊固定連接，所述電極引線區(qū)一端懸空，另一端穿過所述鍵合區(qū)與所述質(zhì)量塊相連；所述上極板、中間極板和下極板通過三者的鍵合區(qū)連接成一個(gè)整體。

石英振梁是振梁加速度計(jì)的核心器件，作為力頻轉(zhuǎn)換器件，其早期主要用于測力傳感器。常用的結(jié)構(gòu)有單梁和雙梁兩種，如圖7所示。振梁設(shè)計(jì)涉及晶片切型、振動頻率、振動模態(tài)、激勵(lì)電極、寄生振動抑制、工藝可行性等方面。晶體刻蝕可采用干法、濕法或干濕法結(jié)合等加工方式，石英晶體的各向異性會使振梁在刻蝕過程中出現(xiàn)側(cè)棱，側(cè)棱會對梁的振動穩(wěn)定性及儀表精度帶來一定影響。通過優(yōu)化刻蝕工藝參數(shù)，能夠減小側(cè)棱結(jié)構(gòu)，保證梁結(jié)構(gòu)的微納加工精度。 撓性支撐的作用是將輸入加速度的變化轉(zhuǎn)換成振梁受力的變化，進(jìn)而產(chǎn)生輸出頻率的變化，一般采用強(qiáng)度極限大、疲勞強(qiáng)度高、無磁、加工工藝性好的彈性合金、石英等材料。撓性支撐的設(shè)計(jì)結(jié)合工藝加工可采用平橋式或圓弧式，作為石英振梁加速度計(jì)的關(guān)鍵零件，撓性接頭加工的厚度、剛度及對稱性直接影響著儀表的精度水平。 撓性支撐兩種結(jié)構(gòu)形式3.3 驅(qū)動電路 驅(qū)動電路是和石英振梁相匹配，以實(shí)現(xiàn)振梁在諧振頻率點(diǎn)處的振動。驅(qū)動電路頻率跟隨振梁固有頻率，且隨加速度改變而變化。振梁的輸出信號被緩沖以便輸出信號與數(shù)字元件相匹配，從而能夠用數(shù)字計(jì)數(shù)器檢測并進(jìn)行系統(tǒng)級的數(shù)據(jù)處理。 3.4 裝配及封裝 精密裝配是石英振梁加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)高精度及可靠性的保證，單軸石英撓性加速度計(jì)型號，涉及高精度對準(zhǔn)、低應(yīng)力聯(lián)接、應(yīng)力隔離釋放等技術(shù)。儀表應(yīng)實(shí)現(xiàn)氣密封*，內(nèi)腔氣壓的選取一方面要保證儀表具有一定的壓膜阻尼，另一方面要考慮提高振梁振動Q值、降低氣體阻尼和振梁等效電阻。

單軸石英撓性加速度計(jì)型號特點(diǎn):

1． 小型混合伺服電路

2． 用無晶伺向石英制成完全彈性的測震懸置

3. 無軸尖和寶石眼，故無軸承摩擦

4. 無靜摩擦，因而無機(jī)械閥

5. 在惡劣環(huán)境下，可長期工作，性能不變

6． 偏值小、偏值穩(wěn)定性高

7． 穩(wěn)定的輸出電壓標(biāo)度因數(shù)

8． 有自檢測能力

9． 抗沖擊強(qiáng)度高