紹興凈化車(chē)間設(shè)計(jì)多重優(yōu)惠

工業(yè)生產(chǎn)的自然環(huán)境濕度是影響空氣環(huán)境質(zhì)量的重要因素。很多工業(yè)產(chǎn)品必須在規(guī)定濕度下才能生產(chǎn)出來(lái)。無(wú)塵車(chē)間的溫濕度既要滿足工藝生產(chǎn)要求，又要滿足人的舒適度，溫濕度等級(jí)根據(jù)潔凈度的要求進(jìn)行調(diào)整。就蘇州工業(yè)園區(qū)電子廠房?jī)艋こ潭裕诖笠?guī)模集成電路進(jìn)行生產(chǎn)光刻曝光過(guò)程中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度?！穸冗^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，凈化車(chē)間設(shè)計(jì)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

無(wú)塵車(chē)間都要通過(guò)保持室內(nèi)靜壓高于非潔凈區(qū)的靜壓，來(lái)防止污染，內(nèi)外壓力差需要保持：潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力；相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間；潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

無(wú)塵車(chē)間室溫的濕度測(cè)試是檢驗(yàn)凈化車(chē)間內(nèi)部穩(wěn)定性的一項(xiàng)重要工作，目的是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的溫度控制能力。無(wú)塵室濕度的測(cè)試通常采用通風(fēng)干濕球濕度計(jì)、電容式濕度計(jì)、數(shù)字式濕度計(jì)、毛發(fā)式濕度儀器。

無(wú)塵車(chē)間的溫濕度測(cè)試的要求：

溫度測(cè)試應(yīng)在無(wú)塵車(chē)間進(jìn)行調(diào)試，氣流均勻性測(cè)試完成，無(wú)塵室功能溫度測(cè)試，應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個(gè)分格面積不超過(guò)100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測(cè)點(diǎn)1個(gè)以上，每個(gè)房間測(cè)點(diǎn)至少2個(gè)。而且需要在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行24H以上后進(jìn)行。無(wú)塵室的溫度測(cè)試有功能溫度測(cè)試和一般溫度測(cè)試。功能溫度測(cè)試主要用于需嚴(yán)格控制溫度精度時(shí)或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”進(jìn)行測(cè)試時(shí)應(yīng)用；一般溫度測(cè)試主要使用于“空態(tài)”時(shí)溫度測(cè)試。

測(cè)試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。無(wú)塵室安全規(guī)范指出無(wú)塵室一般溫度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)，每個(gè)溫度控制區(qū)或每個(gè)房間1個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)試點(diǎn)高度宜為工作面高度，測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。