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復(fù)合式(Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

信封結(jié)構(gòu)系統(tǒng):簡單來說,它是頂部,墻壁和地面,無塵室施工,即構(gòu)成三維受限空間的六個面。精美,包括門窗,裝飾弧等;管道系統(tǒng):包括供氣,回風(fēng),新風(fēng),排風(fēng)管,端部和控制裝置;
空調(diào)系統(tǒng):包括冷(熱)水單元(包括水泵,冷卻塔等)(或風(fēng)冷管道水平儀等),管道,組合凈化空調(diào)箱(包括混流段,揚(yáng)州無塵室,初始效果段),加熱部分,無塵室裝修,制冷部分,除濕部分,加壓部分,中效部分,靜壓部分等);


注冊資金:100萬
聯(lián)系人:聶國紀(jì)
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企業(yè)地址:江蘇 棲霞區(qū)