輪廓儀哪家好-合肥邁思瑞(在線咨詢)-合肥輪廓儀
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輪廓儀助力半導體產(chǎn)業(yè)大發(fā)展
晶圓IC減薄后的粗糙度檢測
在硅晶圓的蝕刻完成后，根據(jù)不同的應用需求，需要對制備好的晶圓IC的背面進行不同程度的減薄處理，在這個過程中，需要對減薄后的晶圓IC背面的表面粗糙度進行監(jiān)控以滿足后續(xù)的應用要求。在減薄工序中，輪廓儀哪家好，晶圓IC的背面要經(jīng)過粗磨和細磨兩道磨削工序，粗磨后的表面存在明顯的磨削紋路，而3D圖像顯示在左下部分存在一處凹坑瑕疵，沿垂直紋理方向提取剖面輪廓并經(jīng)過該瑕疵，在剖面輪廓曲線里可看到該處瑕疵最1大起伏在2.4um左右，而磨削紋理起伏最1大在1um范圍內(nèi)波動，并獲取該區(qū)域的面粗糙度Sa為216nm，剖面線的粗糙度Ra為241nm。
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一文讀懂光學輪廓儀定功能光學輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。一句話概括就是測量超光滑表面（納米級別）微觀形貌。進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學檢測儀器。
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合肥邁思瑞儀器儀表有限公司
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