國產(chǎn)輪廓儀品牌哪個好-合肥邁思瑞儀器儀表-宣城輪廓儀
合肥市小型輪廓儀廠家
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交互式3D繪圖 – 縮1放，平移，旋轉，并實時1更1新結果。靈活分析 – 較廣的定量1分析結果，包括1數(shù)據(jù)視圖和過濾器。 直觀的用戶界面 – 易于學1習和使用的1流程界面設1計。內(nèi)置SPC分析工具 – 跟蹤1結果，監(jiān)控合格/不合格的標準，宣城輪廓儀，跟蹤處理數(shù)據(jù)。還有滿足特殊應用需求1的應用程序1模塊，如透明薄1膜的樣品測量，2D圖1像分析等。
輪廓儀助力半導體產(chǎn)業(yè)大發(fā)展
晶圓IC減薄后的粗糙度檢測
在硅晶圓的蝕刻完成后，根據(jù)不同的應用需求，大型輪廓儀價格，需要對制備好的晶圓IC的背面進行不同程度的減薄處理，在這個過程中，需要對減薄后的晶圓IC背面的表面粗糙度進行監(jiān)控以滿足后續(xù)的應用要求。在減薄工序中，晶圓IC的背面要經(jīng)過粗磨和細磨兩道磨削工序，粗磨后的表面存在明顯的磨削紋路，而3D圖像顯示在左下部分存在一處凹坑瑕疵，沿垂直紋理方向提取剖面輪廓并經(jīng)過該瑕疵，在剖面輪廓曲線里可看到該處瑕疵最1大起伏在2.4um左右，而磨削紋理起伏最1大在1um范圍內(nèi)波動，并獲取該區(qū)域的面粗糙度Sa為216nm，剖面線的粗糙度Ra為241nm。
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合肥邁思瑞儀器儀表有限公司
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