納米涂層-電子產(chǎn)品納米涂層

       在真空條件下成膜有很多優(yōu)點(diǎn)：可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞，減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學(xué)反應(yīng)（如氧化等），以及減少成膜過程中氣體分子進(jìn)入薄膜中成為雜質(zhì)的量，從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。

       蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(shí)間（或決定于裝料量），并與源和基片的距離有關(guān)。對(duì)于大面積鍍膜，納米涂層，常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。

       在四十年代后期有英國曼徹斯特大學(xué)研究高分子的一位化學(xué)家分離出，電子產(chǎn)品納米涂層，后來Union Carbide公司的科學(xué)家威廉戈罕開發(fā)了一種沉積方法來應(yīng)用該產(chǎn)品成膜，Parylene及其成膜技術(shù)早用于美國的軍事和航天技術(shù)，到90年代才慢慢民用化，但其制造技術(shù)一直處于壟斷和保密狀態(tài)。目前國際上幾家大公司在生產(chǎn)該系列產(chǎn)品，而國內(nèi)對(duì)該產(chǎn)品生產(chǎn)應(yīng)用研究才剛剛起步。

      parylene是一種具有化學(xué)惰性又有連號(hào)的生物相容性高純涂層材料，已經(jīng)通過美國FDA認(rèn)可，用于各類體內(nèi)植入，經(jīng)它涂敷的器件可改善表面潤滑性、生物相容性、提高可靠性。parylene的生物兼容性及其生物穩(wěn)定性使其能夠提供良好的防潮、防化學(xué)和介電保護(hù)。涂敷薄膜的摩擦系數(shù)低，因而可以應(yīng)用于需要潤滑的地方。

       Parylene C是系列中第二個(gè)具有商業(yè)價(jià)值的成員。其將良好的電性能，塑料納米涂層，物理性能結(jié)合在一起，電子元器件納米涂層，并且對(duì)于潮濕和其它腐蝕性氣體具有低滲透性?？梢蕴峁┱嬲臒o覆形隔離外，滿足美軍標(biāo)MIL-46058C，是涂敷重要電路板的材料。符合ISO-10993生物試驗(yàn)要求，符合UDP第六類塑料的生物試驗(yàn)要求。

       Parylene涂層除具備以上優(yōu)異防護(hù)性外，還具有良好的生物兼容性、生物穩(wěn)定性、優(yōu)異的自潤滑性、涂層均勻可控性，以及好的物理機(jī)械性能。多年來，其在航天航空、微電子、半導(dǎo)體、傳感器、磁性材料、器械、保護(hù)等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，已經(jīng)慢慢滲透到人們的日常生活中。