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檢測時樣氣(標氣)流路也一樣存在漏氣問題。我們已找到改變分析操作能判斷是否有漏氣方法,并能大致確定漏量大小。還有“在檢測<20ppbl超低微量氣體成分時,不能采用紫銅及一般不銹鋼材料”的說法也欠根據(jù)。氦離子化檢測器和電子捕獲檢測器都是能直接撿測ppb級的檢測器,在儀器上我們?nèi)杂靡话阕香~與不銹鋼管作連接管與色譜柱,只是要將管內(nèi)清洗和置換干凈就能滿足要求[27]。在校驗方法上,有人說“市售瓶裝標準氣含量在1—20ppm內(nèi),使用這種濃度的標準氣去校驗1—20ppb濃度的含量數(shù)據(jù),兩種數(shù)據(jù)大小相關(guān)1000倍,這是完全不合理的?!边@是外行批評內(nèi)行的話!好象批評者能配出含量為1—20ppb的標準氣?因為很明顯目前還沒有人能得到純度為9個“9”的配標準氣的底氣?;谀壳爸荒芘渲瞥鰌pm級標準氣,第l一底氣純度得到保證;第二個問題是配氣誤差。只要查一下國家l質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局批準的一級[GBW]和二級[GBW(E)]氣體標準物質(zhì)(共300多種)[11],就可知道氣瓶標氣最l小配制濃度只能到1ppm。第三考慮到濃縮法能將ppb變?yōu)閜pm級和檢測器可以保證的線性范圍。因而用ppm的標準氣校驗ppb級就不足奇怪。理論與技術(shù)上的研究,在許多內(nèi)容上都是使“不可能”“不合理”的事,讓它在一定條件下成為可能。

高純氮氣主要運用在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學(xué)氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。

氣體產(chǎn)品作為現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料,特種氣體,應(yīng)用范圍十分廣泛,在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)l藥醫(yī)療等部門,均使用大量的常用氣體或特種氣體。
高純度氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU),為了達到儀器對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則,并注明管道材質(zhì)。
