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小型化學(xué)氣相沉積廠家

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玻璃鍍膜設(shè)備是利用真空磁控濺射方式在浮法玻璃表面進(jìn)行鍍膜的專業(yè)設(shè)備,鍍膜艙室真空度為1.0E-6mbar的高真空,生產(chǎn)線采用真空磁控濺射方式在玻璃表面進(jìn)行鍍膜,保持高真空環(huán)境是玻璃鍍膜設(shè)備的基本條件。

玻璃鍍膜設(shè)備由真空腔室、鍍膜腔室、狹縫閥、工藝介質(zhì)平臺(tái)、狹縫閥、傳動(dòng)系統(tǒng)、液壓設(shè)備、冷卻系統(tǒng)、放氣系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)等組成,采用電氣程序全自動(dòng)控制。

玻璃基片通過(guò)傳動(dòng)輥道實(shí)現(xiàn)水平直線傳輸,依次經(jīng)過(guò)鎖室、緩沖室、過(guò)渡室進(jìn)入工藝腔室,鍍膜工藝完成后,經(jīng)過(guò)渡室、緩沖室、鎖室傳出。傳動(dòng)輥道間通過(guò)同步齒形皮帶聯(lián)動(dòng),等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備,傳動(dòng)輥道由減速機(jī)通過(guò)施密特聯(lián)軸器、剛性聯(lián)軸器等與輥道相連。真空系統(tǒng)主要通過(guò)各種真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn),在生產(chǎn)線各個(gè)關(guān)鍵位置均安裝各級(jí)真空規(guī)測(cè)量真空度。




不導(dǎo)電膜鍍膜設(shè)備是新技術(shù)、新產(chǎn)品、新工藝層出不窮,其產(chǎn)品價(jià)值高,化學(xué)氣相沉積設(shè)備價(jià)格,市場(chǎng)潛力大,盈利空間大,將逐步替換傳統(tǒng)電鍍產(chǎn)業(yè)而成為主流的塑料類產(chǎn)品表面處理技術(shù), 將為企業(yè)和社會(huì)帶來(lái)明顯的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

蒸發(fā)鍍膜設(shè)備運(yùn)行與維護(hù)。 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備工作方式就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),小型化學(xué)氣相沉積設(shè)備,采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)、升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝.




真空納米鍍膜機(jī)設(shè)備的主要用途

(1)各種功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低溫沉積氮化硅減反射膜,以提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

(2)裝飾領(lǐng)域的應(yīng)用,化學(xué)氣相沉積設(shè)備,如各種全反射膜及半透明膜等,如手機(jī)外殼,鼠標(biāo)等。

(3) 在微電子領(lǐng)域作為一種非熱式鍍膜技術(shù),主要應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積(CVD)或金屬有機(jī)

(4)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)生長(zhǎng)困難及不適用的材料薄膜沉積,而且可以獲得大面積非常均勻的薄膜。

磁控濺射除上述已被大量應(yīng)用的領(lǐng)域,還在高溫超導(dǎo)薄膜、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料、太陽(yáng)能電池、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用。





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