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目前晶圓直徑正向更大方向發(fā)展,從原*的 8、10、12、15 英寸甚至到了 20 英寸,越大越適合玉石切割線切割,低能耗玉石切割線,如圖 17,某晶圓芯片公司的 Φ350mm 晶圓在玉石切割線立式機(jī)切片,玉石切割線,效果十分滿意,其工藝參數(shù)為:
線速度 38m / s,進(jìn)給速度 15 ~ 30mm / min,切割面精度 0.02 ~ 0.05μm,片厚 2 ~ 5mm。

元素工具進(jìn)行了大量基于研制出環(huán)形金剛石線鋸的切割實(shí)驗(yàn),多次在自制的試驗(yàn)設(shè)備上對(duì)大理石進(jìn)行了切割。
試驗(yàn)表明: 工件表面粗糙度隨鋸絲速度增加和進(jìn)給速度的減小而降低,隨鋸絲張緊力的增加先降低后增大。
磨粒尺寸越小,切削深度越小,得到的加工表面質(zhì)量越高。使用更小粒度金剛石磨粒制造的線鋸絲,切面光滑玉石切割線,應(yīng)當(dāng)能夠進(jìn)一步減小加工表面粗糙度。因此環(huán)形線鋸絲切割表面面形精度更高

工件進(jìn)給速度對(duì)大理石表面粗糙度的影響較大,隨著工件進(jìn)給速度的增大,零售玉石切割線,大理石表面粗糙度值增加。同時(shí)進(jìn)給速度還影響大理石的鋸切效率,兩者兼顧,合理的工件進(jìn)給速度取10mm/min。
鋸絲的磨損機(jī)理是磨粒的脫落,要想減少磨粒的脫落,必須提高鍍層的把持力,減小鋸絲的振動(dòng)和提高鋸絲線速度,從而減少鋸絲磨損,延長(zhǎng)鋸絲的使用壽命。


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