薄膜式壓力傳感器-卓揚(yáng)，壓力傳感器模塊

壓力傳感器是將各種非電量，包括物理量、化學(xué)量、生物量等，薄膜式壓力傳感器，按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成便于處理和傳輸?shù)牧硪环N物理量，一般為電量的裝置，傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件和測(cè)量電路三部分組成，有時(shí)還需外加輔助電源。

壓力傳感器按用途分類主要是壓力監(jiān)視、壓力測(cè)量和壓力控制及轉(zhuǎn)換成其他量的測(cè)量，薄膜式壓力傳感器求購，按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器，前者是被動(dòng)供電的，需要有外電源，后者是傳感器自身產(chǎn)生電荷，不需要外加電源，根據(jù)不同領(lǐng)域?qū)毫y(cè)量的精度不同分為低精度和高精度的壓力傳感器。

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應(yīng)變梁式壓力傳感器測(cè)量較小壓力時(shí)，可采取固定梁或等強(qiáng)度梁的構(gòu)造，一種方式是用膜片把壓力轉(zhuǎn)換為力再通過傳力桿傳遞給應(yīng)變梁，兩端固定梁的至大應(yīng)變處在梁的兩端和中點(diǎn)，應(yīng)變片就貼在這些中央。

應(yīng)變管式壓力傳感器彈性的敏感元件為一端關(guān)閉的薄壁圓筒，其另一端帶有法蘭與被測(cè)體系銜接，在筒壁上貼有2片或4片應(yīng)變片，其中一半貼在實(shí)心局部作為溫度彌補(bǔ)片，另一半作為測(cè)量應(yīng)變片，當(dāng)沒有壓力時(shí)4片應(yīng)變片組成均衡的全橋式電路，當(dāng)壓力作用于內(nèi)腔時(shí)，薄膜式壓力傳感器定制加工廠家，圓筒變?cè)斐伞把男巍?，使電橋失去均衡，輸入與壓力成肯定關(guān)系的電壓。

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壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件，它是基于壓阻效應(yīng)工作的，所謂壓阻元件實(shí)際上就是指在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，當(dāng)它受外力作用時(shí)，其阻值由于電阻率的變化而改變，擴(kuò)散電阻正常工作時(shí)需依附于彈性元件，常用的是單晶硅膜片。

壓阻式壓力傳感器壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結(jié)構(gòu)，封裝在外殼內(nèi)，在一塊圓形的單晶硅膜片上，布置四個(gè)擴(kuò)散電阻，兩片位于受壓應(yīng)力區(qū)，另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū)，它們組成一個(gè)全橋測(cè)量電路。

硅膜片用一個(gè)圓形硅杯固定，兩邊有兩個(gè)壓力腔，一個(gè)和被測(cè)壓力相連接的高壓腔，另一個(gè)是低壓腔，接參考?jí)毫Γǔ：蛪捍髿庀嗤?，?dāng)存在壓差時(shí)，膜片產(chǎn)生變形，使兩對(duì)電阻的阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡，其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。

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