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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務!
在刻畫時,采用步進機刻畫(stepper),其中有電子束和激光之分,掩膜板,激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫,邊緣起點5mm,與電子束相比,其弧形更逼真,線寬與間距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有稱為中間掩膜,reticle作為單位譯為光柵),用步進機重復將比例縮小到master maks上,應用到實際曝光中的為工作掩膜(working mask),工作掩膜由master mask復i制過來。





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接觸光刻技術(shù)中使用的掩模的表面特征圖案的尺寸與實際掩模的尺寸相同。i在襯底上形成的圖案是1∶1,并且以直接接近光致抗蝕劑層表面的方式曝光i光線;另一方面,縮微技術(shù)中使用的掩模具有表面特征圖案的實際尺寸。i在襯底上形成的圖案的幾次通過光學系統(tǒng)投影模式曝光i光明。

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掩膜板是光刻圖形的基準和藍本,掩膜板上:的任何缺陷都會對終圖形精度產(chǎn)生嚴重的影響。所以掩膜板必須保持“完關(guān)”。
使用掩膜板存在許多損傷來源:掩膜板掉鉻:表面擦傷,需要輕拿輕放:靜電放電(ESD),在掩膜板夾子.上需要連一根導線到金屬桌面,將產(chǎn)生的靜電導出。另外,不能用手觸摸掩膜板:灰塵顆粒,在掩膜板盒打開的情況下,不準進出掩膜板室(Mask Room),在存取掩膜板時室內(nèi)保持2人。
