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按照國際慣例,自來水廠凈化間定制,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。
當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微。

耐久性無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無塵室等級來建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。清洗在制藥和生物工學(xué)工業(yè),自來水廠凈化間訂做,無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,順義自來水廠凈化間,直到防止濾或的污染之特性。在 biotech 市場,清洗真正地是一個(gè)重要的企業(yè)。

不發(fā)生
在控制污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí),也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺的發(fā)塵量。因物品在移動時(shí),所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時(shí)也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到限度應(yīng)采取以下對策:
減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);
采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
采用發(fā)塵小的潤滑油;
機(jī)臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

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