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特種氣體充裝要點
一、永1久性氣體的充裝
1、專業(yè)培訓(xùn)、持證上崗、遵守規(guī)程。
2、佩戴防護用品、檢查設(shè)備。
3、對鋼瓶復(fù)查、檢查氣密性。
4、開啟總閥,準(zhǔn)備充氣。
5、充裝時的檢查。
6、發(fā)現(xiàn)問題的處理。
7、壓力大于12.5MPa時,禁止進(jìn)入。
8、確定高充裝壓力。
9、切換總閥,分類堆放好。
基準(zhǔn)溫度:是由氣體產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的基準(zhǔn)充裝標(biāo)準(zhǔn)溫 度。我國規(guī)定是20℃

特種氣體的分類
近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高,深圳特種氣體,所以我們特將這個領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管(LED)、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等行業(yè)。主要包括:
1、硅族氣體:含硅基的硅i烷類。
2、摻雜氣體:含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。
3、蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主。
4、反應(yīng)氣體:以碳系及氮系氧化物為主。
5、金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機烷類金屬。

特種氣體的一般概念
臨界溫度和臨界壓力。因為任何氣體在一點溫度和壓力下都可以液化,特種氣體供應(yīng)商,溫度越高,液化所需要的壓力也越高,但是當(dāng)溫度超過某一數(shù)值時,即使在增加多大的壓力也不能液化,這個溫度叫臨界溫度 ,電子特種氣體,在這一溫度下低的壓力就叫做臨界壓力,例如:水的臨界溫度為374.15℃,臨界壓力為225.65kgf/cm2,氨的臨界溫度為132.4℃,臨界壓力為115.2kgf/cm2。


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