潔凈室-專業(yè)省心|安徽科林爾-實(shí)驗(yàn)室潔凈室

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，無塵車間潔凈室，所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，潔凈室凈化工程，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，潔凈室，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是：

1．煩惱的效應(yīng)

由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，實(shí)驗(yàn)室潔凈室，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。

2．對工作效率的影響

這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個(gè)方面是：集中精神，動(dòng)作準(zhǔn)確性，工作速度。

3．對綜合通訊的干擾

這主要分為：清楚或滿意，稍困難，困難，不可能。

根據(jù)中國建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》而進(jìn)行的測定資料，在65dB(A)以下時(shí)，只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時(shí)，其影響對工作效率的三方面反應(yīng)表現(xiàn)出較低水平；在60dB(A)以下說話清楚滿意．60～75dB(A)時(shí)有一定困難，犬于75dB很困難。因此認(rèn)為潔凈室噪聲水平以65d)為宜，此時(shí)可使高煩惱率小于30%；保證一般通話；對工作效率影響很小。